[发明专利]弹性波装置

说明书

提供能够抑制谐振频率附近的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)。压电性基板(2)具有高声速层和压电体层(6)。IDT电极(7)具有第一、第二汇流条(14、15)和相互交替插入的多个第一、第二电极指(16、17)。通过连结多个第一、第二电极指(16、17)各自的前端而形成的假想线即第一、第二包络线(A1、A2)分别相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。在位于多个第一电极指(16)与第二汇流条(15)之间的多个第一间隙(G1)及位于多个第二电极指(17)与第一汇流条(14)之间的多个第二间隙(G2)中的至少一个设置有第一电介质膜(9a、9b)，第一电介质膜(9a、9b)的密度比氧化硅的密度高。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。该弹性波装置在高声速支承基板上具有将低声速膜、压电膜依次层叠而成的层叠体、以及设置在压电膜上的IDT电极。具有上述层叠体的弹性波装置虽然能够提高Q值，但存在产生横模纹波这样的问题。

在专利文献1中，为了抑制横模纹波，将IDT电极作为倾斜型的IDT电极。倾斜型的IDT电极是指，通过连结与一个汇流条连接的多个电极指的前端而形成的假想线即包络线和通过连结与另一个汇流条连接的多个电极指的前端而形成的假想线即包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸的IDT电极。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/208236号

发明内容

发明要解决的课题

但是，即便使用了倾斜型的IDT电极，当与上述层叠体并用时，有时在谐振频率附近也产生纹波。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制谐振频率附近的纹波的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的弹性波装置具备：压电性基板；以及IDT电极，其设置在所述压电性基板上，所述压电性基板具有高声速层和直接或间接设置在所述高声速层上的压电体层，在所述高声速层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，所述IDT电极具有相对置的第一汇流条及第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指，通过连结所述多个第一电极指的前端而形成的假想线即第一包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，通过连结所述多个第二电极指的前端而形成的假想线即第二包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，在所述压电性基板上的位于所述多个第一电极指与所述第二汇流条之间的多个第一间隙以及位于所述多个第二电极指与所述第一汇流条之间的多个第二间隙中的至少一个设置有第一电介质膜，所述第一电介质膜的密度比氧化硅的密度高。

发明效果

根据本发明，可提供能够抑制谐振频率附近的纹波的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的正面剖视图。

图2是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。

图3是示出本发明的第一实施方式中的IDT电极的第一间隙附近且示出沿图2中的I-I线的剖面的剖视图。

图4是用于说明第一实施方式的弹性波装置的IDT电极的变形例的俯视图。

图5是第一比较例的弹性波装置的俯视图。

图6是示出本发明的第一实施方式及第一比较例中的阻抗特性的图。

图7是示出本发明的第一实施方式及第一比较例中的谐振频率附近的阻抗特性的图。