[发明专利]单个单元灰度散射术重叠目标及其使用变化照明参数的测量

说明书

本发明提供散射术重叠SCOL测量方法、系统及目标以实现具有裸片中目标的有效SCOL计量。方法包括通过以下项产生信号矩阵：以至少一个照明参数的多个值且在SCOL目标上的多个光点位置照明所述目标，其中所述照明是以产生光点直径1μ的NA(数值孔径)1/3；测量零级及第一衍射级的干扰信号；及相对于所述照明参数及所述目标上的所述光点位置从测量信号建构所述信号矩阵；及通过分析所述信号矩阵而导出目标重叠。所述SCOL目标的尺寸可减小到相对于现有技术目标的十分之一，这是因为需要较少且较小目标单元，且容易设置于裸片中以改进计量测量的准确性及保真度。

技术领域

本发明涉及半导体计量领域，且更具体来说，本发明涉及散射术重叠(SCOL)目标及计量模块及其测量方法。

背景技术

典型SCOL计量利用在对应层中具有多个周期性结构的多个单元，其相对于彼此移位达预定偏移以使能够从单元之间的差分信号导出重叠。

发明内容

以下内容是提供对本发明的初始理解的简化概要。概要不一定识别关键元件或限制本发明的范围，而仅充当对以下描述的介绍。

本发明的一个方面提供散射术重叠(SCOL)测量方法，所述方法包括：通过以下项产生信号矩阵：以至少一个照明参数的多个值且在SCOL目标上的多个光点位置照明所述目标，其中照明是以产生光点直径1μ的NA(数值孔径)1/3；测量零级及第一衍射级的干扰信号；及相对于照明参数及目标上的光点位置从测量信号建构信号矩阵；及通过分析信号矩阵而导出目标重叠。

本发明的这些、额外及/或其它方面及/或优势在以下详细描述中陈述；可能可从详细描述推论；及/或可通过实践本发明而获悉。

附图说明

为了更好地理解本发明的实施例且展示可如何实行本发明的实施例，现将纯粹举实例参考附图，其中通篇相同数字指定对应元件或区段。

在附图中：

图1A及1B是根据本发明的一些实施例的SCOL目标及相应测量系统的高阶示意性图解说明。

图2是根据现有技术的SCOL目标及其测量程序的示意性图解说明。

图3是图解说明根据本发明的一些实施例的方法的高阶流程图。

具体实施方式

在以下描述中，描述本发明的各个方面。出于说明的目的，陈述特定配置及细节以便提供对本发明的透彻理解。然而，所属领域的技术人员还将明白，可在无本文中呈现的特定细节的情况下实践本发明。此外，可能已省略或简化众所周知的特征以免混淆本发明。特定参考图式，应强调，展示的细节是通过实例且仅出于本发明的阐释性论述的目的，且为了提供据信是本发明的原理及概念方面的最有用及容易理解描述的内容而呈现。在此方面，未尝试比对于本发明的基本理解所必需更详细地展示本发明的结构细节，结合图式获取的描述使所属领域的技术人员明白实际上可如何体现本发明的数个形式。

在详细说明本发明的至少一个实施例之前，应了解，本发明不在其应用方面受限于以下描述中陈述或图式中图解说明的组件的构造及布置的细节。本发明适用于可以各种方式实践或实行的其它实施例以及所揭示实施例的组合。此外，应了解，本文中采用的措辞及术语用于描述的目的且不应被视为限制。

除非另外明确规定，否则如从以下论述明白，应了解，说明书通篇，利用例如“处理”、“运算”、“计算”、“确定”、“增强”、“导出”或类似者的术语的论述是指计算机或运算系统或类似电子运算装置的动作及/或过程，其将表示为运算系统的寄存器及/或存储器内的物理(例如电子)量的数据操纵及/或变换成类似地表示为运算系统的存储器、寄存器或其它此类信息存储、传输或显示装置内的物理量的其它数据。在某些实施例中，照明技术可包括可见范围中的电磁辐射、紫外或甚至更短波辐射(例如x射线)、及可能甚至粒子束。