[发明专利]泵送单元

权利要求书

1.一种泵送单元(1)，其具有：

-粗真空泵(2)，

-罗茨真空泵(3)，其包括具有定子(9；24；25)的泵送级(7)，在所述定子内，两个罗茨转子(5)被配置成沿相反方向同步旋转，以便在入口孔(10)和出口孔(11)之间驱动待泵送的气体，

-管线(13；21；26；27)，其将所述出口孔(11)连接至粗真空泵(2)的入口(12)，

其特征在于，所述出口孔(11)的边缘和所述泵送级(7)中的每个转子(5)之间的最短距离(d)至少小于3厘米。

2.根据权利要求1所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述最短距离(d)小于2厘米，例如小于1厘米，例如小于0.5厘米，例如大于0.1cm。

3.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述出口孔(11)具有圆形形状，其直径(D)小于5厘米，例如在2厘米到5厘米之间。

4.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述出口孔(11)位于进入泵送级(7)中的管线(13)的上游管(14)的端部。

5.一种泵送单元(1)，其具有：

-粗真空泵(2)，

-罗茨真空泵(3)，其包括具有定子(9)的泵送级(7)，在所述定子内，两个罗茨转子(5)被配置成沿相反方向同步旋转，以便在入口孔(10)和出口孔(11)之间驱动待泵送的气体，

-管线(13；21；26)，其将所述出口孔(11)连接至粗真空泵(2)的入口(12)，

其特征在于，所述出口孔(11)位于进入泵送级(7)中的管线(13；21；26)的上游管(14)的端部。

6.根据权利要求4或5所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述上游管(14)从所述泵送级(7)的出口容座(15)伸出。

7.根据权利要求4至6之一所述的泵送单元(1)，其特征在于，其具有冷却回路(30)，所述冷却回路被配置成至少部分地冷却所述管线(13)的上游管(14)。

8.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述冷却回路(30)具有围绕所述管线(13)的上游管(14)的基部的夹套(31)，所述夹套(31)的入口(32)和出口(33)允许冷却剂流过由所述夹套(31)和所述上游管(14)形成的双层壁的空间。

9.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述入口(32)位于所述冷却回路(30)的入口管(34)的端部，所述出口(33)位于所述冷却回路(30)的出口管(33)的端部，所述入口管(34)和所述出口管(33)伸入到所述双层壁的空间内。

10.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述出口管(33)的长度大于所述入口管(34)的长度。

11.根据权利要求6或7-10中任一项并且结合权利要求6所述的泵送单元(1)，其特征在于，至少出口容座(15)的底部(16)是可拆卸的。

12.根据权利要求6或7-11中任一项并且结合权利要求6所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述出口容座(15)一方面包括形成在所述泵送级(7)的定子(9)中的周向部分(17)，另一方面包括紧固至所述管线(13；21；26)的上游管(14)上的底部(16)。

13.根据权利要求4至12之一所述的泵送单元(1)，其具有配置成支撑罗茨真空泵(3)的框架(6)，其特征在于，所述管线(21)具有可从所述上游管(14)拆下的下游部分(20)。

14.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述下游部分(20)具有波纹管(23)。