[发明专利]泵送单元

说明书

本发明涉及一种泵送单元，其包括：‑粗真空泵；‑罗茨真空泵(3)，该罗茨真空泵包括泵送级(7)，该泵送级具有定子(9)，在该定子内，两个罗茨转子(5)被配置成以相反方向同步旋转，以在入口孔(10)和出口孔(11)之间驱动待泵送的气体；‑管线(13)，该管线将所述出口孔(11)连接至所述粗真空泵(2)的入口(12)，其特征在于，所述出口孔(11)的边缘和所述泵送级(7)中的每个转子(5)之间的最短距离(d)至少小于3厘米。

技术领域

本发明涉及一种具有粗真空泵和罗茨真空泵的泵送单元，所述罗茨真空泵与所述粗真空泵串联安装并且在待泵送的气体的流动方向上位于所述粗真空泵的上游。

背景技术

一些泵送单元用于被称为“粉末”工艺的过程，因为它们涉及产生大量固体副产品的气体。例如，某些制造半导体的方法就是这样。

这些固体化合物会沉积在真空泵的内表面上，并形成团聚体，最终限制用于气体的通道尺寸，从而导致泵送能力的损失。

与真空泵的使用寿命相比，这些粉末的堆积相对较快，从而限制了在没有维护操作的情况下的泵的使用周期。连接两个真空泵的管线特别容易产生沉积物，特别是当其具有高度弯曲的部分时，因此必须经常拆除以进行清洁。然而，由于其在泵之间的受限位置和由于其尺寸较大，在不拆除两个泵中的至少一个的情况下，很难拆除泵间管线，这使得有必要拆除两个泵中的至少一个。

因此，除了频繁维护外，维护也相对耗时且复杂。

发明内容

本发明的目的是提出一种改进的泵送单元，其至少部分地解决现有技术的一个缺陷。

为此，本发明的主题是一种泵送单元，其具有：

-粗真空泵，

-罗茨真空泵，其包括具有定子的泵送级，在该定子内，两个罗茨转子被配置成沿相反方向同步旋转，以在入口孔(输入管口)和出口孔(输出管口)之间驱动待泵送的气体，

-管线，其将所述出口孔连接至粗真空泵的入口(吸入口)。

所述出口孔的边缘和所述泵送级中的各个转子之间的最短距离例如至少小于三厘米。

所述泵送单元可单独或组合地具有下述一个或多个特征。

所述最短距离例如小于2厘米，例如小于1厘米，例如小于0.5厘米，例如大于0.1厘米。

该距离是在运行中当转子依次移动到尽可能靠近出口孔的位置时最短的距离。出口孔与这些转子的轴线总体上等距地定位。因此，所述出口孔与所述两个转子中的每个之间的距离均相同。

因此，罗茨真空泵的出口孔更靠近转子扫过的区域。这样的效果是，当转子旋转时，它们可以扫过堆积在出口孔边缘上的粉末。因此，从出口孔伸出的任何粉末堆积物都可以通过机械效应被自动刮掉，并与泵送气体一起从泵送级被排出。因此，至少粉末堆积物一旦超过出口孔的边缘与转子扫过所限定的区域之间的距离时，转子就可以清洁出口孔的边缘。这种几何结构使得可以通过保持用于输送至粗真空泵的气体和粉末的永久通道而不允许粉末在罗茨真空泵的输送处堆积来减少粉末在泵送级中的堵塞。因此，可以减少罗茨真空泵出口处的泵送能力损失。

出口孔例如具有圆形的形状，其直径小于5厘米，例如在2到5厘米之间。与罗茨真空泵出口孔的总体尺寸相比，具有这种尺寸的出口孔形成了限流。这种限流使得气体一旦离开转子就有可能加速，从而使粉末更容易由被泵送的气体带走。此外，相对于泵送单元的整体性能而言，由被泵送气体流中的这种限流所带来的压降可以忽略不计。

管线可以是直的。因此，可以限制粉末在管线中的堆积，然后这些粉末由被泵送的气体以及通过重力带走。

根据第一示例，出口孔位于进入泵送级中的管线的上游管的末端。通过使管线在定子中延伸，进入定子中的上游管可以以简单的方式使出口孔更靠近转子。