[发明专利]气体输送式微粉体定量供给方法及系统

权利要求书

1.一种气体输送式微粉体定量供给方法，将被填充在气体输送式微粉体定量供给装置内的微粉体通过输送气体向微粉体使用装置定量地输送供给，

上述气体输送式微粉体定量供给方法的特征在于，

调整上述输送气体中的水分含量，抑制在上述微粉体和上述输送气体的混合流体被从上述气体输送式微粉体定量供给装置向上述微粉体使用装置输送时在上述混合流体中发生的静电量。

2.如权利要求1所述的气体输送式微粉体定量供给方法，

上述气体输送式微粉体定量供给装置具备：

微粉体收容容器，收容上述微粉体；

壳体，将上述微粉体收容容器气密地收容；

补给口，将上述输送气体向上述壳体供给；

流量调节机构，调整上述输送气体向上述壳体的供给量；

供给喷嘴，使上述微粉体伴随着上述输送气体从上述微粉体收容容器内向上述微粉体使用装置供给；

位置检测传感器，用来检测上述供给喷嘴和上述微粉体表面之间的相对位置；

驱动部，使上述供给喷嘴在上下方向上移动；以及

湿度计测传感器，用来计测上述壳体内的湿度，

根据从上述湿度计测传感器取得的湿度信息，调整上述输送气体的水分含量。

3.如权利要求1或2所述的气体输送式微粉体定量供给方法，

调整上述输送气体的水分含量，以使得在上述混合流体中发生的静电的散射时间τ成为0～10秒。

4.如权利要求1～3中任一项所述的气体输送式微粉体定量供给方法，上述微粉体的平均粒径是10μm以下。

5.一种气体输送式微粉体定量供给系统，其特征在于，具备：

加湿室，用来将输送气体加湿；以及

气体输送式微粉体定量供给装置，通过来自上述加湿室的输送气体的供给，将上述输送气体和微粉体的混合流体向微粉体使用装置定量地供给，

上述气体输送式微粉体定量供给装置具备：

微粉体收容容器，收容上述微粉体；

壳体，将上述微粉体收容容器气密地收容；

补给口，将上述输送气体向上述壳体供给；

流量调节机构，调整上述输送气体向上述壳体的供给量；

供给喷嘴，使上述微粉体伴随着上述输送气体从上述微粉体收容容器内向上述微粉体使用装置供给；

位置检测传感器，用来检测上述供给喷嘴和上述微粉体表面之间的相对位置；

驱动部，使上述供给喷嘴在上下方向上移动；以及

湿度计测传感器，用来计测上述壳体内的湿度，

上述加湿室具备：

水槽，收容用来将上述输送气体加湿的液体；

超声波振动机构，用来将上述液体雾化；以及

湿度控制机构，用来与上述湿度计测传感器连动而控制上述壳体内的湿度。

6.如权利要求5所述的气体输送式微粉体定量供给系统，

上述湿度控制机构调整输送气体的水分含量，以减少上述混合流体中的静电发生。

7.如权利要求5或6所述的气体输送式微粉体定量供给系统，具备：

上述微粉体的平均粒径是10μm以下。

8.一种加湿单元，其特征在于，

是在权利要求5～7中任一项所述的气体输送式微粉体定量供给系统中被使用的输送气体的加湿单元，

上述加湿单元具备：

湿度计测传感器，用来计测上述壳体内的湿度；

加湿室，用来将上述输送气体加湿；以及

加湿输送气体供给喷嘴，用来将上述加湿后的输送气体向上述装置供给；

上述加湿室具备：

水槽，收容用来将上述输送气体加湿的液体；

超声波振动机构，用来将上述液体雾化；以及

湿度控制机构，用来与上述湿度计测传感器连动而控制上述壳体内的湿度。