[发明专利]气体输送式微粉体定量供给方法及系统

说明书

本发明提供将微粉体定量地且稳定地供给的方法及用来实施该方法的系统。本发明特征在于，在将被填充在气体输送式微粉体定量供给装置内的微粉体通过输送气体向微粉体使用装置定量地输送供给的气体输送式微粉体定量供给方法中，调整上述输送气体中的水分含量，抑制在将上述微粉体和上述输送气体的混合流体从上述气体输送式微粉体定量供给装置向上述微粉体使用装置输送时在上述混合流体中发生的静电量。

技术领域

本发明涉及气体输送式微粉体定量供给方法及微粉体定量供给系统，以及在该方法及系统中使用的加湿单元。

背景技术

以往，例如在喷镀装置、液晶基板的衬垫喷涂装置、粉体压缩成形、喷砂装置、粉体涂装装置等中，广泛地使用将金属、陶瓷、塑料等的具有微细的粒径的粉体定量地稳定供给的装置(例如，参照专利文献1、2)。

在专利文献1中，公开了如下的粉体的气体输送式定量供给装置：通过用来检测粉体的表面的位置的表面位置检测机构、用来将给料喷嘴的流出口调整到该粉体表面附近的合适位置的水平调整机构、和用来将该给料喷嘴的流出口保持在合适位置的控制机构，能够将设在给料喷嘴的前端的流出口和盒容器内的粉体的表面总是设定为最优的装置位置，由此能够匹配于粉体的性状而定量地供给希望的量的粉体。此外，在专利文献2中，公开了通过除了专利文献1所公开的结构以外还具备粉体补给部，并能够将希望的量的粉体长时间连续地向喷镀装置等供给的粉体的气体输送式定量供给装置。

这样的气体输送式粉体定量供给装置首先从粉体收容容器将粉体定量地向粉体输送路取入，接着，将所取入的粉体以气体输送到目的的位置，通过在目的的位置将输送来的气体与粉体的混合流体放出，进行粉体的定量供给。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-309177号公报

专利文献2：日本特开2016-40196号公报

发明内容

关于将粉体从粉体收容容器向粉体输送路定量且稳定地取入，由有关专利文献1及2的发明达成。但是，在这样的装置中，粉体在气体输送中由于与输送路内壁的摩擦而带有静电，特别是在质量极轻的微粉体粒子中，不能完全抵抗与带有逆电荷的管内壁之间的静电引力而附着在管内壁。并且，附着的微粉体的层随着装置的运转时间变长而成长，最终由于使输送路闭塞，可能导致粉体的供给停止。

为了避免这样的问题，以往使用电荷移动较容易的金属或导电性塑料作为输送路构成材料，采用将静电向大地中排散的方法。但是，如果使用这样的导电性材料，则通过被输送的粉体与由导电性材料构成的输送路接触而输送路内壁磨损，发生必须频繁地进行输送路的更换的新的问题。此外，还已知有通过向所产生的电荷喷吹逆电荷离子而电气地进行中和的方法，但即使从粉体输送路那样的细长的通路的入口送入具有逆电荷的离子，由于离子的寿命较短，所以离子的电荷也在途中消失，不遍布到输送路整体，所以效果较弱。

另一方面，以往在处置粉体的领域中，基本上尽可能避免粉体含有水分、特别是在气体输送式粉体定量供给的领域中，通常不仅使粉体、也使输送气体干燥。这是因为，如果水分含量较多，则产生以引起损害粉体的流动性的粒子间附着力为原因的粒子间的液体交联。但是，通过将水分排除进带来的液体交联力的减小，虽然关于依存于粉体流动性的类型的粉体即流动性良好的粉体而有助于其定量及稳定的供给，但对于流动性较低的微粉体那样的粉体的情况下，因在干燥状态下产生的静电带来的危害反而较大，所以需要对于起因于静电的问题的解决对策。

所以，为了将微粉体通过输送气体定量地进行输送供给，希望有将作为粉体向输送路附着的原因的静电去除的方法及在这样的方法中使用的系统。

本发明是鉴于上述的问题而做出的，目的是提供一种能够将粉体中的特别是质量很轻的微粉体定量且稳定地输送供给的气体输送式微粉体定量供给方法及系统。此外，还一并提供能够在这样的方法及系统中使用的输送气体加湿单元。