[发明专利]高频加热装置

权利要求书

1.一种高频加热装置，所述高频加热装置具备：

加热室，其构成为，收容加热对象物；

电极；

高频电源，其构成为，对所述电极施加高频电压；

匹配器，其包含具有可变的匹配常数的至少一个匹配元件；以及

控制部，其构成为，基于所述至少一个匹配元件的所述匹配常数的时间变化，使所述高频电源停止而结束加热，

所述控制部构成为，根据所述匹配常数的时间变化来推定加热的结束时间，使所述高频电源提前于所述结束时间而停止，

所述控制部以使所述匹配器的阻抗与所述加热室内的阻抗的合成阻抗不发生变化的方式使所述至少一个匹配元件的所述匹配常数变化。

2.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述至少一个匹配元件包含具有可变电容的可变电容器以及具有可变电感的可变电感器中的至少一方。

3.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述至少一个匹配元件包含多个电容器，

所述匹配器通过切换所述多个电容器的连接而使所述匹配常数变化。

4.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述至少一个匹配元件包含多个电感器，

所述匹配器通过切换所述多个电感器的连接而使所述匹配常数变化。

5.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述匹配器具有：

与所述电极串联连接的至少一个匹配元件；以及

与所述电极并联连接的至少一个匹配元件。

6.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述至少一个匹配元件与所述电极串联连接。

7.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述至少一个匹配元件与所述电极并联连接。

8.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述匹配器从加热开始到结束为止使所述至少一个匹配元件的所述匹配常数变化，抑制从所述电极向所述高频电源反射的反射波。

9.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述控制部在所述匹配常数的时间变化率为规定的阈值以下的情况下使所述高频电源停止。

10.根据权利要求1所述的高频加热装置，其中，

所述控制部在所述匹配常数在20秒以上或者进行加热的时间的1/10以上的期间没有变化的情况下使所述高频电源停止。