[发明专利]高频加热装置

说明书

本发明的一个方式所涉及的高频加热装置具备加热室、电极、高频电源、至少一个匹配元件以及控制部。加热室收容加热对象物。高频电源对电极施加高频电压。匹配器包含具有可变匹配常数的至少一个匹配元件。控制部基于至少一个匹配元件的匹配常数的时间变化，使高频电源停止而结束加热。根据本方式，能够高效地对加热对象物进行加热。

技术领域

本发明涉及一种高频加热装置。

背景技术

作为高频加热装置，例如已知有专利文献1所记载的解冻系统。

在专利文献1所记载的解冻系统中，基于正向RF电力测定值(Forward RF powermeasurement)以及反射RF电力测定值(Reflected RF power measurement)，反复决定计算出的变化率，并反复比较计算出的变化率与阈值变化率。

在计算出的变化率比阈值变化率大的情况下，专利文献1的解冻系统持续向电极提供RF(Radio Frequency：射频)信号，直到解冻动作完成为止。若解冻动作完成，则该解冻系统使RF信号的供给停止。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-22677号公报

发明内容

但是，在专利文献1的装置中，在高效地加热加热对象物这一点上还存在改善的余地。

本发明的一个方式的高频加热装置具备加热室、电极、高频电源、至少一个匹配元件和控制部。加热室收容加热对象物。高频电源对电极施加高频电压。匹配器包括具有可变匹配常数的至少一个匹配元件。控制部基于至少一个匹配元件的匹配常数中的时间变化，使高频电源停止而结束加热。

根据本方式，能够高效地对加热对象物进行加热。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的高频加热装置的结构的概略图。

图2是表示实施方式中的高频电源的结构的概略图。

图3是表示包含实施方式中的匹配器的电路模型的结构的概略图。

图4是表示实施方式中的检测部的结构的概略图。

图5是表示加热时的实施例1～3中的第一可变电容器VC1的电容的时间变化的曲线图。

图6是表示加热时的实施例4～6中的第二可变电容器VC2的电容的时间变化的曲线图。

图7A是表示包含第一变形例的匹配器的电路模型的概略图。

图7B是表示包含第二变形例的匹配器的电路模型的概略图。

图7C是表示包含第三变形例的匹配器的电路模型的概略图。

图7D是表示包含第四变形例的匹配器的电路模型的概略图。

图7E是表示包含第五变形例的匹配器的电路模型的概略图。

具体实施方式

(作为本发明的基础的见解)

上述以往的解冻系统在根据正向RF电力测定值和反射RF电力测定值计算出的变化率成为针对配置于加热室内的加热对象物预先决定的阈值以上的情况下，判定加热结束。

在该判定处理中，基于反射RF电力的增大进行判定，因此若接近加热的结束，则在高频电源与负载侧的电极之间产生阻抗匹配的偏差。因此，随着接近加热的结束，加热效率降低。

在加热对象物的位置、形状以及质量存在偏差的情况下，若使用任意的固定的阈值，则有时无法适当地判定加热的结束。难以根据加热对象物的位置、形状以及质量的偏差来设定适当的阈值。