[发明专利]玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法

权利要求书

1.一种燃烧器，其是用于制造玻璃微粒沉积体的燃烧器，具备：

作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及

覆盖所述气体供给管的罩子，

所述气体供给管与所述罩子构成为一体，

所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，

所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。

2.一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：

壁部，其与所述起始棒隔开配置，并在壁面上设有燃烧器穿过其中的通孔；

清洁空气供给部，其从所述壁部的外侧向内侧供给清洁空气；

燃烧器，其具备作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及覆盖所述气体供给管并与所述气体供给管构成为一体的罩子；以及

移动机构，其使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的生长而后退，

所述燃烧器的所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，

所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。

3.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，

在与所述起始棒隔开配置的壁部的壁面上设置燃烧器穿过其中的通孔，

所述燃烧器具备一体形式的作为燃烧器主体的金属制的气体供给管以及覆盖所述气体供给管的罩子，所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部，

随着所述玻璃微粒沉积体的生长，使所述燃烧器与所述通孔的间隙保持恒定的同时使所述燃烧器后退，

将清洁空气从所述间隙导入到所述反应容器内。

4.根据权利要求3所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使用OMCTS作为原料，并且将所述气体供给管加热至230℃以上。