[发明专利]玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法

说明书

一种玻璃微粒沉积体制造用的燃烧器，具备：作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及覆盖气体供给管的罩子，气体供给管与罩子构成为一体，气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖气体供给管、以及连接在气体供给管的侧面的配管的连接部。

技术领域

本发明涉及玻璃微粒沉积体制造用燃烧器、玻璃微粒沉积体的制造装置以及制造方法。

本专利申请要求基于2018年12月4日提出的日本专利申请第2018-227117号的优先权，并且援引该专利申请中记载的全部记载内容。

背景技术

专利文献1中记载了使用硅氧烷作为原料以形成玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器和玻璃微粒沉积体的制造方法。

专利文献2中记载了随着玻璃微粒沉积体生长且其内径增大，使燃烧器后退。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-224007号公报

专利文献2：日本特开2012-62203号公报

发明内容

本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体制造用燃烧器，

是一种用于制造玻璃微粒沉积体的燃烧器，其具备：

作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、以及

覆盖所述气体供给管的罩子，

所述气体供给管与所述罩子构成为一体，

所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，

所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。

本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置，

是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造装置，具备：

壁部，其与所述起始棒隔开配置，并在壁面上设有燃烧器穿过其中的通孔；

清洁空气供给部，其从所述壁部的外侧向内侧供给清洁空气；

燃烧器，其具备作为燃烧器主体的金属制的气体供给管、覆盖所述气体供给管并与所述气体供给管构成为一体的罩子；以及

移动机构，其使所述燃烧器随着所述玻璃微粒沉积体的生长而后退，

所述燃烧器的所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，

所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部。

另外，本发明的一个方式涉及的玻璃微粒沉积体的制造方法，

是在配置于反应容器内的起始棒上沉积玻璃微粒以制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，

在与所述起始棒隔开配置的壁部的壁面上设置燃烧器穿过其中的通孔，

所述燃烧器具备一体形式的作为燃烧器主体的金属制的气体供给管以及覆盖所述气体供给管的罩子，所述气体供给管与供给原料气体、氢氧气体、密封气体的配管连接，所述罩子在燃烧器的轴向上以预定长度、恒定的外径覆盖所述气体供给管、以及连接在所述气体供给管的侧面的所述配管的连接部，

随着所述玻璃微粒沉积体的生长，使所述燃烧器与所述通孔的间隙保持恒定的同时使其后退，