[发明专利]晶片储存器

权利要求书

1.一种晶片储存器，其包括：

壳体；

装载装置，其安装在所述壳体的前表面上，并被构造为安装能够容纳多个晶片的搬运容器；

晶片盒架子，其布置在所述壳体中，并被构造为以多层的方式储存多个晶片盒，所述多个晶片盒被构造为以多层的方式储存多个晶片；

晶片搬运机器人，其被构造为在安装在所述装载装置上的所述搬运容器与储存在所述晶片盒架子中的所述晶片盒之间装载和卸载所述晶片；

晶片盒运送装置，其被构造为将储存在所述晶片盒架子的多层中的预定层中的晶片盒移动到至少与所述预定层高度不同的层；以及

风扇过滤器单元，其被构造为在所述壳体的布置有所述晶片搬运机器人的晶片搬运空间中以及所述壳体的布置有所述晶片盒运送装置的晶片盒搬运空间中产生层流。

2.根据权利要求1所述的晶片储存器，其中，所述晶片搬运机器人被构造为在安装在所述装载装置上的所述搬运容器与布置在所述晶片盒架子的多层中的、在前后方向上面对所述搬运容器的高度的层中的所述晶片盒之间运送所述晶片。

3.根据权利要求1或2所述的晶片储存器，其中，在所述壳体中形成有用于使气体循环的循环路径，所述循环路径包括所述晶片搬运空间和所述晶片盒搬运空间。