[发明专利]用于柔性电路的方法和系统

说明书

本发明提供了用于形成柔性电路(1300)的各种方法和系统。在一个示例中，一种方法包括形成柔性电路(1300)，该柔性电路包括布置成多个行的多个接触焊盘(908,1112,1122)，给定行的每个接触焊盘(908,1112,1122)经由电迹线(406)彼此电耦接，并且每个接触焊盘包括通孔(902,1110,1120)，用至少第一材料电镀柔性电路(1300)，包括电镀每个通孔(902,1110,1120)，并且在确认每个通孔的连接性时，至少部分地切割(1302,1304,1306)电迹线(406)中的至少一些。

技术领域

本文所公开的主题的实施方案涉及用于超声换能器阵列的柔性电路，并且更具体地涉及测试柔性电路互连件。

背景技术

超声换能器组件通常用于包括无损检测(NDE)和医学诊断成像的应用中，诸如超声应用和计算机断层扫描(CT)。超声换能器组件通常包括耦接到电子器件阵列的超声换能器阵列。超声换能器阵列通常包括数百或数千个单独的换能器。压电换能器(例如，PZT)是一种广泛使用的超声换能器类型。压电传感器通常包括当经受电应力或机械应力时能够改变物理尺寸的压电材料。此外，压电传感器可包括匹配材料层和阻尼材料层。

类似地，电子器件阵列包括数百或数千个集成接口电路(或“单元”)，这些集成接口电路电耦接以提供对换能器的电气控制，用于光束形成、信号放大、控制功能、信号处理等。具体地讲，换能器阵列中的每个换能器子阵列通常耦接到集成电路芯片，以提供对每个传感器的单独控制。在一些示例中，集成电路芯片和换能器之间的通信可经由包括高密度互连件的柔性电路发生。

发明内容

在一个实施方案中，一种方法包括形成柔性电路，该柔性电路包括布置成多个行的多个接触焊盘，给定行的每个接触焊盘经由电迹线彼此电耦接，并且每个接触焊盘包括通孔，用至少第一材料电镀柔性电路，包括电镀每个通孔，并且在确认每个通孔的连接性时，至少部分地切割电迹线中的至少一些。

应当理解，提供上面的简要描述来以简化的形式介绍在具体实施方式中进一步描述的精选概念。这并不意味着识别所要求保护的主题的关键或必要特征，该主题的范围由具体实施方式后的权利要求书唯一地限定。此外，所要求保护的主题不限于解决上文或本公开的任何部分中提到的任何缺点的实施方式。

附图说明

通过参考附图阅读以下对非限制性实施方案的描述将更好地理解本发明，其中以下：

图1示出了根据本发明的实施方案的示例性超声成像系统。

图2示出了示例性超声换能器阵列。

图3示出了用于形成用于超声换能器阵列的柔性电路的方法。

图4至图13示出了根据图3的方法形成的柔性电路的剖视图，其中柔性电路处于形成柔性电路的各个阶段。

图14示出了根据图3的方法形成的示例性柔性电路的俯视图。

图15是图13的柔性电路的部分放大视图。

图16和图17示出了图13的柔性电路的附加视图。

具体实施方式

以下描述涉及可结合在超声探头(诸如图1所示的超声探头)的换能器阵列中的柔性电路的各种实施方案。具体地讲，提供了用于形成柔性电路的系统和方法，该柔性电路包括电迹线，该电迹线允许在柔性电路耦接到超声探头的一个或多个换能器之前测试柔性电路的多个互连件(也称为通孔)的连接性。超声探头的多个换能器的示例在图2中示出，其示出了包括耦接到柔性电路的超声换能器的声学堆栈部件。流程图示于图3中，该流程图示出了用于形成用于换能器阵列的柔性电路的方法，包括测试柔性电路的通孔。图4至图13示出了图3所示方法的各个阶段的柔性电路和/或换能器堆栈的剖视图。图14示出了包括所形成的电迹线的柔性电路的俯视图，其中图15示出了图14的柔性电路的部分放大视图。图16和图17示出了包括电迹线的柔性电路的附加层。