[发明专利]分析装置和图像生成方法

权利要求书

1.一种用于对检查对象体的检查结果进行分析的分析装置，其特征在于：

所述检查对象体形成有多个检查对象器件，所述多个检查对象器件分别具有在电气检查时因与探针接触而形成针迹的电极，

所述分析装置包括：

显示图像的显示部；和

生成所述显示部所要显示的图像的图像生成部，

所述图像生成部基于关于所述针迹的检查结果的信息来生成分析用图像，

所述分析用图像具有：

针迹散点图的图像，其重叠地表示所述检查对象器件各自的所述针迹相对于所述电极的位置；

检查对象体映射图像，其是表示有所述检查对象体的所述检查对象器件的形成面的图像，且在与所述检查对象器件分别对应的位置显示了关于该检查对象器件的针迹检查结果；和

所述电极的拍摄图像，

所述针迹散点图的图像、所述检查对象体映射图像和所述拍摄图像各自的显示内容是相互联动的。

2.如权利要求1所述的分析装置，其特征在于：

所述针迹散点图的图像对该针迹散点图的图像所示的所述针迹的一部分进行特殊显示，

所述检查对象体映射图像对该检查对象体映射图像所示的所述检查对象器件的一部分进行特殊显示，

所述针迹散点图的图像中所特殊显示的内容、所述检查对象体映射图像中所特殊显示的内容和所述拍摄图像的内容是相互联动的。

3.如权利要求2所述的分析装置，其特征在于：

所述针迹散点图的图像对该针迹散点图的图像所示的由用户选择的所述针迹进行特殊显示，

所述检查对象体映射图像对形成有在所述针迹散点图的图像中被特殊地显示的所述针迹的所述电极所属的所述检查对象器件进行特殊显示，

所述拍摄图像表示出形成有在所述针迹散点图的图像中被特殊地显示的所述针迹的所述电极。

4.如权利要求2所述的分析装置，其特征在于：

所述检查对象体映射图像对由该检查对象体映射图像所示的由用户选择的所述检查对象器件进行特殊显示，

所述针迹散点图的图像对在所述检查对象体映射图像中被特殊地显示的所述检查对象器件所具有的所述电极上形成的所述针迹进行特殊显示，

所述拍摄图像表示出在所述检查对象体映射图像中被特殊地显示的所述检查对象器件所具有的所述电极。

5.如权利要求1～4中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述分析用图像还具有表示所述针迹的形状的信息的针迹形状信息显示区域，

所述针迹形状信息显示区域的显示内容是与所述针迹散点图的图像、所述检查对象体映射图像和所述拍摄图像各自的显示内容联动的。

6.如权利要求1～5中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述分析用图像还具有字符信息显示区域，所述字符信息显示区域用字符信息来表示关于所述针迹的信息和关于所述电极的信息中的至少任一信息，

所述字符信息显示区域的显示内容是与所述针迹散点图的图像、所述检查对象体映射图像和所述拍摄图像各自的显示内容联动的。

7.如权利要求1～6中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述检查对象体映射图像用3个以上的等级来表示所述针迹检查结果。

8.如权利要求1～7中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述检查对象体映射图像用颜色来表示所述针迹检查结果。

9.一种图像生成方法，生成检查对象体的检查结果的分析中所使用的图像，其特征在于：

所述检查对象体形成有多个检查对象器件，所述多个检查对象器件分别具有在电气检查时因与探针接触而形成针迹的电极，

所述图像生成方法具有基于关于所述针迹的检查结果的信息来生成分析用图像的步骤，

所述分析用图像具有：

针迹散点图的图像，其重叠地表示所述检查对象器件各自的所述针迹相对于所述电极的位置；

检查对象体映射图像，其是表示有所述检查对象体的所述检查对象器件的形成面的图像，且在与所述检查对象器件分别对应的位置显示了关于该检查对象器件的针迹检查结果；和

所述电极的拍摄图像，

所述针迹散点图的图像、所述检查对象体映射图像和所述拍摄图像各自的显示内容是相互联动的。