[发明专利]分析装置和图像生成方法

权利要求书

1.一种分析装置，其特征在于：

所述分析装置用于对检查对象体的检查的状态进行分析，

所述检查对象体形成有多个检查对象器件，

所述检查使用探针卡进行，其中所述探针卡形成有多个与所述检查对象器件接触的探针，

所述分析装置包括：

显示图像的显示部；和

图像生成部，其生成在所述显示部显示的图像，

所述图像生成部基于所述探针卡的多个部分的所述探针的高度和所述检查对象体的多个部分的所述检查对象器件的高度中的至少任一者的检测结果，生成表示所述探针和所述检查对象器件中的至少任一者的高度的分布的高度分布图像。

2.如权利要求1所述的分析装置，其特征在于：

所述分布图像用颜色表示所述分布的高度的信息。

3.如权利要求2所述的分析装置，其特征在于：

所述分布图像用明度、饱和度和色相中的至少任一者的变化表示所述分布的高度的信息。

4.如权利要求1～3中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述分布图像通过立体显示表示所述分布。

5.如权利要求1～4中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述图像生成部基于实际进行了高度检测的部分的检测结果，将实际上没有进行高度检测的部分的高度的信息插补进来，生成所述分布图像。

6.如权利要求1～5中任一项所述的分析装置，其特征在于：

所述检查对象器件的高度是该检查对象器件的特定部分的高度。

7.一种图像生成方法，其特征在于：

所述图像生成方法生成用于分析检查对象体的检查的状态的图像，

所述检查对象体形成有多个检查对象器件，

所述检查使用探针卡进行，其中所述探针卡形成有多个与所述检查对象器件接触的探针，

所述图像生成方法包括如下步骤：基于所述探针卡的多个部分的所述探针的高度和所述检查对象体的多个部分的所述检查对象器件的高度中的至少任一者的检测结果，生成表示所述探针和所述检查对象器件中的至少任一者的高度的分布的高度分布图像。