[发明专利]基板输送装置及其运行方法

权利要求书

1.一种基板输送装置，从载置有基板的载置台保持并输送所述基板，其中，

所述基板输送装置具备保持所述基板的机械手、安装有所述机械手的操纵装置、以及配置于所述机械手并探测距载置于所述载置台的所述基板的主面的距离的第1基板检测器。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，

所述第1基板检测器是静电电容传感器。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其中，

所述第1基板检测器配置于所述机械手的前端部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板输送装置，其中，

还具备第2基板检测器，该第2基板检测器配置于所述机械手的沿着前后方向与所述第1基板检测器不同的位置，并探测距所述基板的所述主面的距离。

5.一种基板输送装置，从收纳有多个基板的容器保持并输送所述基板，其中，

所述基板输送装置具备保持所述基板的机械手、操纵装置以及控制装置，

在所述机械手的前端部设置有基板检测器，该基板检测器具有朝向所述基板的主面投射光的第1投光部、和接收在所述基板的主面反射的光的第1受光部，

所述控制装置构成为：在以使所述机械手进入至所述容器内的方式使操纵装置动作时，使所述基板检测器的所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，并根据所述基板检测器的所述第1受光部是否接收到在所述基板的主面反射的光，判定是否产生了所述基板的位置偏移。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其中，

在所述机械手的前端部设置有测绘装置，该测绘装置具有在水平方向上投射光的第2投光部、和接收从所述第2投光部投射的光的第2受光部，

所述控制装置构成为：从所述测绘装置取得所述第2受光部未探测到从所述第2投光部投射的光的位置信息作为所述基板的位置信息，并基于从所述测绘装置取得的所述基板的位置信息，使所述操纵装置动作，使得所述机械手位于离所述基板的下表面预先设定好的第1距离的下方的位置。

7.根据权利要求5或6所述的基板输送装置，其中，

所述基板检测器构成为：在正常地收纳了所述基板的状态下，若所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，则所述第1受光部会接收在所述基板的主面反射的光，

所述控制装置构成为：在以使所述机械手进入至所述容器内的方式使所述操纵装置动作时，使所述基板检测器的所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，在所述基板检测器的所述第1受光部未接收到在所述基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了所述基板的位置偏移。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其中，

所述控制装置构成为：在以使所述机械手进入至所述容器内的方式使所述操纵装置动作时，使所述基板检测器的所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，在所述基板检测器的所述第1受光部接收到在所述基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生所述基板的位置偏移。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的基板输送装置，其中，

所述基板检测器构成为：在正常地收纳了所述基板的状态下，若所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，则所述第1受光部不会接收在所述基板的主面反射的光，

所述控制装置构成为：在以使所述机械手进入至所述容器内的方式使所述操纵装置动作时，使所述基板检测器的所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，在所述基板检测器的所述第1受光部接收到在所述基板的主面反射的光的情况下，判定为产生了所述基板的位置偏移。

10.根据权利要求9所述的基板输送装置，其中，

所述控制装置构成为：在以使所述机械手进入至所述容器内的方式使所述操纵装置动作时，使所述基板检测器的所述第1投光部朝向所述基板的主面投射光，在所述基板检测器的所述第1受光部未接收到在所述基板的主面反射的光的情况下，判定为未产生所述基板的位置偏移。