[发明专利]压电换能器

权利要求书

1.一种压电换能器，具备：

基部；以及

隔膜部，被所述基部间接地支承，位于比所述基部靠上侧，

所述隔膜部不与所述基部重叠，并且包含：

板状部，在从上下方向观察时，具有呈环状延伸的外周侧面；

多个梁部，与所述板状部的所述外周侧面连接，并且延伸为远离所述板状部，在所述外周侧面的周向上等间隔地排列；以及

圆环状的基端部，在从上下方向观察时，连接于所述多个梁部各自的与板状部侧相反侧的端部，与所述板状部配置为同心圆状，

所述板状部具有：压电体层；上部电极层，配置在该压电体层的上侧；以及下部电极层，配置为夹着所述压电体层与所述上部电极层的至少一部分对置，

在从上下方向观察时，所述多个梁部各自从所述板状部侧到基端部侧具有彼此相同的外形，并且该外形的至少一部分弯曲，

在所述多个梁部中的在所述周向上彼此相邻的梁部彼此之间，设置有沿着位于两侧的梁部的延伸方向延伸的狭缝。

2.根据权利要求1所述的压电换能器，其中，

所述多个梁部中的至少一部分梁部具有从所述上部电极层延伸设置的上部布线层以及从所述下部电极层延伸设置的下部布线层中的至少一者。

3.根据权利要求2所述的压电换能器，其中，

在从上下方向观察时，所述上部布线层以及所述下部布线层各自关于所述板状部的中心配置为点对称。

4.根据权利要求2所述的压电换能器，其中，

在所述多个梁部中，具有所述上部布线层的梁部和具有所述下部布线层的梁部相互不同。

5.根据权利要求3所述的压电换能器，其中，

在所述多个梁部中，具有所述上部布线层的梁部和具有所述下部布线层的梁部相互不同。

6.根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的压电换能器，其中，

在从上下方向观察时，所述基部具有内周侧面，

在从上下方向观察时，所述基端部位于所述内周侧面的内侧。

7.根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的压电换能器，其中，

在从上下方向观察时，在所述多个梁部各自中，与在所述外周侧面的径向上位于所述基端部与所述板状部之间的中央的部分相比，所述板状部侧的部分更朝向所述板状部的所述外周侧面的所述径向。

8.根据权利要求6所述的压电换能器，其中，

在从上下方向观察时，在所述多个梁部各自中，与在所述外周侧面的径向上位于所述基端部与所述板状部之间的中央的部分相比，所述板状部侧的部分更朝向所述板状部的所述外周侧面的所述径向。