[发明专利]工艺开发可视化工具

权利要求书

1.一种方法，包含以下步骤：

生成与在晶片上执行的制造工艺相关联的第一参数的第一可视化内容，其中所述第一参数的值取决于所述制造工艺的复数个工艺变量，并且其中所述第一可视化内容表示所述第一参数的第一组值，所述第一参数的所述第一组值与所述制造工艺的第一工艺变量的第一值相关联；

生成与所述制造工艺相关联的第二参数的第一可视化内容，其中所述第二参数的值取决于所述制造工艺的所述复数个工艺变量，并且其中所述第二参数的所述第一可视化内容表示所述第二参数的第一组值，所述第二参数的所述第一组值与所述制造工艺的所述第一工艺变量的所述第一值相关联；

在第一窗口中输出所述第一参数的所述第一可视化内容；

并发地在第二窗口中输出所述第二参数的所述第一可视化内容；

提供与所述制造工艺的所述第一工艺变量相关联的第一图形用户界面控制元素，其中所述第一图形用户界面控制元素具有与所述第一工艺变量的所述第一值相关联的第一设置；

接收用户输入，以将所述第一图形用户界面控制元素从所述第一设置调整为第二设置；

基于所述第一图形用户界面控制元素的所述第二设置，确定所述第一工艺变量的第二值；

确定与所述制造工艺的所述第一工艺变量的所述第二值相关联的所述第一参数的第二组值；

确定与所述制造工艺的所述第一工艺变量的所述第二值相关联的所述第二参数的第二组值；

生成与所述制造工艺相关联的所述第一参数的第二可视化内容，其中所述第二可视化内容表示所述第一参数的所述第二组值，所述第一参数的所述第二组值与所述第一工艺变量的所述第二值相关联；

生成与所述制造工艺相关联的所述第二参数的第二可视化内容，其中所述第二可视化内容表示所述第二参数的所述第二组值，所述第二参数的所述第二组值与所述第一工艺变量的所述第二值相关联；

在所述第一窗口中输出所述第一参数的所述第二可视化内容；和

并发地在所述第二窗口中输出所述第二参数的所述第二可视化内容。

2.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：

经由与第二图形用户界面控制元素的用户交互来接收导出命令；

生成第一文件，所述第一文件包括：a)所述第一参数的所述第二组值；与b)与所述第一参数的所述第二组值相关联的所述复数个工艺变量的工艺变量值，这些工艺变量值包括所述第一工艺变量的所述第二值；和

生成第二文件，所述第二文件包括：a)所述第二参数的所述第二组值；与b)与所述第二参数的所述第二组值相关联的所述复数个工艺变量的这些工艺变量值。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述第一图形用户界面控制元素包含滑块，并且其中所述滑块的每个位置与所述第一工艺变量的不同值相关联。

4.如权利要求1所述的方法，其中确定与所述制造工艺的所述第一工艺变量的所述第二值相关联的所述第一参数的所述第二组值的步骤包含以下步骤：

生成包括所述第一工艺变量的所述第二值的查询；

将所述查询发送到远程计算装置；和

接收对所述查询的响应，所述响应包括所述第一参数的所述第二组值。