[发明专利]工艺开发可视化工具

说明书

工艺开发可视化工具生成与制造工艺相关联的参数的第一可视化内容，并且提供与制造工艺的工艺变量相关联的GUI控制元素，其中GUI控制元素具有与工艺变量第一值相关联的第一设置。工艺开发工具接收用户输入，以将GUI控制元素从第一设置调整为第二设置，基于第二设置确定工艺变量的第二值，并且确定与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。然后，工艺开发工具生成参数的第二可视化内容，其中第二可视化内容表示与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。

本公开内容的领域

本公开内容的实施方式总体上涉及工艺开发，例如用于半导体晶片制造工艺的开发，并且更特定而言涉及促进工艺开发的可视化工具。

本公开内容的背景

因为对电子装置的持续需求，对半导体晶片的需求越来越大。随着设计新的半导体装置和半导体制造设备发展，开发在半导体晶片上制造半导体装置的新工艺。单个工艺配方的开发通常涉及试验设计(DOE)，以测试许多不同的处理变量和这些处理变量对半导体晶片的性质并且最终对制成的半导体装置的影响。这样的DOE造成收集关于工艺变量和晶片结果的大量数据。分析如此大量的数据既费时又困难。

概述

以下是本公开内容的简化概述，以提供对于本公开内容的一些方面的基本理解。此概述不是本公开内容的广泛概要。此概述不意图描写本公开内容的特定实施方案的任何范围或权利要求的任何范围。此概述的唯一目的是以简化形式呈现本公开内容的一些概念，作为稍后呈现的更详细说明的序言。

在一个实施方式中，方法包含：生成与在晶片上执行的制造工艺相关联的第一参数的第一可视化内容，其中第一参数的值取决于制造工艺的复数个工艺变量，并且其中第一可视化内容表示第一参数的第一组值，第一参数的第一组值与制造工艺的第一工艺变量的第一值相关联。方法进一步包含：提供与制造工艺的第一工艺变量相关联的第一图形用户界面控制元素，其中第一图形用户界面控制元素具有与第一工艺变量的第一值相关联的第一设置。方法进一步包含：接收用户输入，以将第一图形用户界面控制元素从第一设置调整为第二设置。方法进一步包含：基于第一图形用户界面控制元素的第二设置，确定第一工艺变量的第二值。方法进一步包含：确定与制造工艺的第一工艺变量的第二值相关联的第一参数的第二组值。方法进一步包含：生成与制造工艺相关联的第一参数的第二可视化内容，其中第二可视化内容表示第一参数的第二组值，第一参数的第二组值与第一工艺变量的第二值相关联。在一个实施方式中，一种计算机可读介质包含指令，指令在由处理装置执行时使处理装置执行所述方法。

在一个实施方式中，系统包含数据储存器，用于储存在晶片上执行的制造工艺的工艺开发数据，并且系统进一步包含计算装置。计算装置包含存储器以及与存储器可操作地连接的处理装置，存储器包括用于工艺开发可视化工具的指令。用于工艺开发可视化工具的指令的执行使得处理装置生成与制造工艺相关联的第一参数的第一可视化内容，其中第一参数的值取决于制造工艺的复数个工艺变量，并且其中第一可视化内容表示第一参数的第一组值，第一参数的第一组值与制造工艺的第一工艺变量的第一值相关联。处理装置提供与制造工艺的第一工艺变量相关联的第一图形用户界面控制元素，其中第一图形用户界面控制元素具有与第一工艺变量的第一值相关联的第一设置。处理装置接收用户输入，以将第一图形用户界面控制元素从第一设置调整为第二设置。处理装置基于第一图形用户界面控制元素的第二设置，确定第一工艺变量的第二值。处理装置生成包括第一工艺变量的第二值的查询。将查询发送到数据储存器。处理装置接收对查询的响应，响应包括与制造工艺的第一工艺变量的第二值相关联的第一参数的第二组值。处理装置生成与制造工艺相关联的第一参数的第二可视化内容，其中第二可视化内容表示第一参数的第二组值，第一参数的第二组值与第一工艺变量的第二值相关联。

附图简要描述

根据下文给出的详细描述和本公开内容的各种实施方式的附图，将更充分地理解本公开内容的各种实施方式。

图1图示了根据本公开内容的实施方式的包括工艺开发可视化器的系统的示例架构。