[发明专利]真空泵在审
申请号: | 201980086195.7 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN113195900A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 桦泽刚志 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李婷;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
1.一种真空泵,其特征在于,具备:
旋转翼;
转子轴,固定于该旋转翼,具有轴端和轴外周部被连通的连通路;
磁性轴承,将该转子轴悬浮支承于空中;
旋转驱动机构,旋转驱动前述转子轴;
液体贮存部,贮存液体;
液体输送机构,随着由前述旋转驱动机构进行的旋转驱动,将贮存于前述液体贮存部的前述液体通过前述连通路从前述轴外周部送出。
2.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,
前述液体输送机构具备:
插入部件,被插入于前述转子轴的前述轴端的前述连通路;
螺旋状的槽,形成于前述转子轴的前述轴端周围的周壁和前述插入部件的任意一方。
3.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,
前述液体输送机构在前述转子轴的前述轴端的前述连通路周围具备锥形的周壁。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的真空泵,其特征在于,
与前述轴外周部连通的连通路的端部被配置于前述转子轴和前述旋转翼的紧固部的附近。
5.如权利要求1至3中任意一项所述的真空泵,其特征在于,
与前述轴外周部连通的连通路的端部被配置于前述磁性轴承的上端附近或者下方。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的真空泵,其特征在于,
具备前述液体通过前述磁性轴承以及前述旋转驱动机构的外侧而向前述液体贮存部返回的回收通路。
7.如权利要求1至6中任意一项所述的真空泵,其特征在于,
具备对前述液体贮存部进行冷却的冷却机构。
8.如权利要求7所述的真空泵,其特征在于,
前述冷却机构是水冷管以及散热器的至少一方。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的真空泵,其特征在于,
在前述转子轴以及前述旋转翼的至少任意一方具备径向的突起部。
10.如权利要求9所述的真空泵,其特征在于,
在位于前述突起部的外周的固定部形成有分隔壁。
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