[发明专利]基板分析方法及基板分析装置

权利要求书

1.一种基板分析方法，利用基板分析用的喷嘴，该基板分析用的喷嘴从前端送出分析液，并且以所送出的分析液扫描基板表面之后抽吸分析液，

该基板分析方法在与喷嘴之前端相对置的位置，配置用以承接被送出的分析液的液承接板，且将从前端送出的分析液保持在喷嘴的前端与液承接板之间，

且在喷嘴的前端与液承接板之间，以可插入基板端部的方式对基板进行位置调整，

并且使基板端部接触于保持在喷嘴的前端与液承接板之间的分析液，

且在基板端部接触于分析液的状态下，使喷嘴及液承接板沿着基板的周缘同时地移动，以分析基板端部。

2.根据权利要求1所述的基板分析方法，其中，液承接板具有疏水性。

3.根据权利要求1或2所述的基板分析方法，其中，喷嘴以三重管所构成，该三重管具有：送出并抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置在配管的外周的第一外管、设置在第一外管的外周侧的第二外管；该喷嘴并具有：第一排气装置，是将配管与第一外管之间设为排气路径；以及第二排气装置，是将第一外管与第二外管之间设为排气路径。

4.根据权利要求1或2所述的基板分析方法，其中，喷嘴以二重管所构成，该二重管具有：送出并抽吸分析液的喷嘴本体、及以包围要扫描的分析液的方式配置在喷嘴本体的外周的外管；该喷嘴并具有将喷嘴本体与外管之间设为排气路径的排气装置。

5.一种基板分析装置，具备基板分析用的喷嘴，该基板分析用的喷嘴从前端送出分析液，并且以所送出的分析液扫描基板表面之后抽吸分析液，且该基板分析装置具备：

基板分析用的喷嘴以三重管所构成，该三重管具有：送出并抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置在配管的外周的第一外管、及设置在第一外管的外周侧的第二外管；该喷嘴并具有：第一排气装置，是将配管与第一外管之间设为排气路径；以及第二排气装置，是将第一外管与第二外管之间设为排气路径；

液承接板控制装置，是在与喷嘴的前端相对置的位置，配置有用以承接从配管送出的分析液的液承接板；以及

驱动装置，是可使喷嘴及液承接板同步，并对于基板相对移动。

6.一种基板分析装置，具备基板分析用的喷嘴，该基板分析用的喷嘴从前端送出分析液，并且以所送出的分析液扫描基板表面之后抽吸分析液，且该基板分析装置具备：

基板分析用的喷嘴以二重管所构成，该二重管具有：送出并抽吸分析液的喷嘴本体、以包围要扫描的分析液的方式设置在喷嘴本体的外周的外管；该喷嘴并具有将喷嘴本体与外管之间设为排气路径的排气装置；

液承接板控制装置，是在与喷嘴的前端相对置的位置，配置有用以承接从配管送出的分析液的液承接板；以及

驱动装置，是可使喷嘴及液承接板同步，并对于基板相对移动。