[发明专利]利用填充液体从多个腔中选择性地填充一组腔的方法

权利要求书

1.一种用于利用填充液体(15)选择性地填充至少一组腔(10)中被称为第一腔(11)的腔的方法，每个腔向外打开到衬底的被称为正面(21)的面上，每个腔包括内表面，所述方法包括以下步骤：

a)处理步骤，所述处理步骤用于改变所述第一腔(11)的被称为第一表面(12₁)的内表面的表面能，或者用于改变除了所述第一腔(11)之外的被称为第二腔的腔的被称为第二表面(12₂)的内表面的表面能，使得所述第一表面(12₁)具有第一表面能，且所述第二表面具有不同于所述第一表面能的第二表面能；

b)包括在所述正面(21)上散布所述填充液体(15)的至少一个序列的步骤；

调节所述第一能量和所述第二能量，使得所述第一表面和所述第二表面分别对所述填充液体(15)施加吸引效应和排斥效应，步骤b)从而使得利用所述填充液体(15)相对于所述第二腔选择性地填充所述第一腔(11)。

2.根据权利要求1所述的填充方法，其中，处理步骤b)包括选择性地在所述第一表面或所述第二表面上执行的等离子体处理或利用紫外辐射的处理。

3.根据权利要求1或2所述的填充方法，其中，通过分别掩蔽所述第二表面或所述第一表面，选择性地在所述第一表面或所述第二表面上执行步骤a)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的填充方法，其中，在步骤a)之前是通过覆盖所述第一表面(12₁)和所述第二表面(12₂)来形成被称为钝化层(14)的层的步骤a1)，所述钝化层(14)由被称为活性材料的材料制成，所述材料被配置为改变其表面能对步骤a)的处理效果的影响。

5.根据权利要求4所述的填充方法，其中，所述钝化层包括如下选择的材料中的至少一种材料：硅氧烷化合物、氟硅烷、含氟聚合物、十八烷基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、丙基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、辛基三甲氧基硅烷、辛基三乙氧基硅烷、十二烷基三乙氧基硅烷、二甲氧基-甲基(3,3,3-三氟丙基)硅烷、三氯(十八烷基)硅烷、三氯(3,3,3-三氟丙基)硅烷、1H,1H,2H,2H-全氟癸基三甲氧基硅烷。

6.根据权利要求4或5所述的填充方法，其中，所述钝化层(14)根据化学气相沉积方法形成，特别是通过等离子体来活化。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的填充方法，其中，散布所述填充液体(15)的步骤涉及使用刮刀或狭缝模头。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的填充方法，其中，所述填充液体(15)是包括溶剂、填充基质和被称为活性电荷的电荷的混合物。

9.根据权利要求8所述的填充方法，其中，步骤b)包括散布填充液体(15)的多个优选地两个序列，且在每个散布序列之后执行所述溶剂的蒸发序列。

10.根据权利要求9所述的填充方法，其中，所述填充液体(15)的蒸发序列包括旨在蒸发所述溶剂的热处理步骤。

11.根据权利要求10所述的填充方法，其中，所述填充基质还适于在所述热处理步骤期间固化，从而将所述活性电荷捕获在所述填充基质的体积中。

12.根据权利要求8至11中任一项所述的填充方法，其中，所述溶剂包括丙二醇单甲醚乙酸酯的溶液。

13.根据权利要求8至12中任一项所述的填充方法，其中，所述填充基质包括丙烯酸酯型透明材料，有利地为聚(甲基丙烯酸甲酯)PMMA或硅树脂或聚合物。

14.根据权利要求8至13中任一项所述的填充方法，其中，所述活性电荷包括转换材料，特别是光学转换材料。