[发明专利]利用填充液体从多个腔中选择性地填充一组腔的方法

说明书

S 66194GR‑G‑EXT PCT 29摘要本发明涉及一种利用填充液体(15)选择性地填充多个腔(10)之中的第一腔(11)的方法，每个腔在衬底的正面(21)处向外打开，该方法包括以下步骤：a)处理步骤，旨在改变第一腔(11)的第一内表面(12)的表面能或其他腔的第二内表面(122)的表面能，使得第一表面(12)具有第一表面能，且第二表面具有第二表面能；b)包括用于散布填充液体(15)的序列的步骤；调节第一能量和第二能量，使得第一表面和第二表面分别对液体(15)施加吸引效应和排斥效应。用于摘要的1个图：图2d。

技术领域

本发明涉及一种用于选择性地填充腔的方法。特别地，本发明涉及一种利用填充材料选择性地填充在底部容纳发光二极管的腔的方法。

根据本发明的填充方法有利地用于制造显示器或投影设备的彩色像素。

该填充方法有利地用于制造电子、光电、机电(MEMS)或光电机械(MOEMS)设备。

背景技术

用于制造微电子、光电、机电或甚至光电机械设备的方法可涉及利用填充液体填充腔。

根据本领域技术人员已知的第一技术，这种填充可以是多个腔的共同填充。

特别地，共同填充可包括将填充液体散布在被称为正面的面上，在该面上腔向外打开，特别是通过旋转器打开。

然而，这种技术并不令人满意。

实际上，这种技术不可能将腔彼此区分开，且例如以选择性方式利用不同的填充液体填充腔。

为了解决这个问题，已提出一种用于单独填充腔的方法，例如利用打印装置或滴注分配装置来填充腔。

然而，这种技术也不令人满意。

实际上，后面的这种技术严重限制了生产率。

此外，这种技术在以单独的方式填充非常小尺寸的腔方面失去其功效。

最后，这种技术的成本并不总是与工业的当前要求兼容。

然而，腔的选择性填充特别令人感兴趣，特别是对于显示设备(或屏幕)或投影设备的制造。

例如，显示设备可包括发光二极管(LED)，特别是被设置为产生多种颜色的LED。

LED可以特别地是纳米线LED，诸如在说明书的末尾引用的文献[1]中描述的并在图1中示出的那些LED。

在该显示设备中，LED形成在腔C的底部，腔C在支撑衬底的被称为正面的面处向外打开。在每个腔的底部上方具有壁P，壁P称为侧壁，且每个腔的底部与壁P一起界定腔体积V。

然后用被称为封装材料M的材料填充腔体积，该材料填充有磷光体，磷光体被配置为将可能由LED发射的电磁辐射转换成具有不同波长的电磁辐射。

在彩色显示设备的情况下，腔及其LED布置在腔组中以形成像素。

然后通过利用填充有磷光体的封装材料填充所述像素的每个腔来获得给定像素显示不同颜色的能力，磷光体从一个腔到另一个腔具有不同的光转换性质。

因此，在文献[1]中提出通过喷墨的方式利用封装材料(例如，填充有磷光体的硅酮基质)选择性地填充给定像素的腔。

如上所述，文献[1]中描述的填充技术并不令人满意。

在说明书的末尾引用的文献[2]提出了选择性地填充腔的替代方法。

特别地，参考文献[2]的图1a，文献[2]提出调整腔的几何形状，特别地使用不同尺寸的腔。

更确切地说，文献[2]考虑尺寸小且形状为圆柱形的第一类型的腔，以及形成较大尺寸的互连通道的网络的第二类型的腔。