[发明专利]存储器装置在审

专利信息
申请号: 201980089164.7 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN113316847A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 平山佳奈;内山泰宏;中塚圭祐 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11556 分类号: H01L27/11556
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 存储器 装置
【权利要求书】:

1.一种存储器装置,具备:

多个第1导电体,沿着第1方向积层;

第2导电体、第3导电体及第4导电体,在所述多个第1导电体的上方积层在同一层;

多个第5导电体,沿着所述第1方向积层;

第6导电体,积层在所述多个第5导电体的上方;

第1半导体,沿着所述第1方向在所述第2导电体与所述第6导电体之间延伸;

第2半导体,沿着所述第1方向在所述第3导电体与所述第6导电体之间延伸;及

第3半导体,沿着所述第1方向在所述第4导电体与所述第6导电体之间延伸。

2.根据权利要求1所述的存储器装置,还具备:

第1电荷蓄积膜,位于所述第2导电体与所述第1半导体之间;

第2电荷蓄积膜,位于所述第6导电体与所述第1半导体之间;

第3电荷蓄积膜,位于所述第3导电体与所述第2半导体之间;

第4电荷蓄积膜,位于所述第6导电体与所述第2半导体之间;

第5电荷蓄积膜,位于所述第4导电体与所述第3半导体之间;及

第6电荷蓄积膜,位于所述第6导电体与所述第3半导体之间。

3.根据权利要求2所述的存储器装置,其中

所述第1电荷蓄积膜与所述第2电荷蓄积膜彼此分离,

所述第3电荷蓄积膜与所述第4电荷蓄积膜彼此分离,且

所述第5电荷蓄积膜与所述第6电荷蓄积膜彼此分离。

4.根据权利要求2所述的存储器装置,其中

所述第1电荷蓄积膜与所述第2电荷蓄积膜是连续膜,

所述第3电荷蓄积膜与所述第4电荷蓄积膜是连续膜,且

所述第5电荷蓄积膜与所述第6电荷蓄积膜是连续膜。

5.根据权利要求1所述的存储器装置,其中

所述第2导电体、所述第3导电体、所述第4导电体及所述第6导电体彼此电切断。

6.根据权利要求1所述的存储器装置,还具备:

第1接点,与所述第2导电体的上表面相接;

第2接点,与所述第3导电体的上表面相接;

第3接点,与所述第4导电体的上表面相接;及

第4接点,与所述第6导电体的上表面相接。

7.一种存储器装置,具备:

多个第1导电体,沿着第1方向积层;

第2导电体及第3导电体,在所述多个第1导电体的上方积层在同一层;

多个第5导电体,沿着所述第1方向积层;

第6导电体及第7导电体,在所述多个第5导电体的上方积层在同一层;

第1半导体,沿着所述第1方向在所述第2导电体与所述第6导电体之间延伸;

第2半导体,沿着所述第1方向在所述第3导电体与所述第6导电体之间延伸;

第3半导体,沿着所述第1方向在所述第3导电体与所述第7导电体之间延伸;及

接点,与所述第6导电体的上表面及所述第7导电体的上表面相接。

8.根据权利要求7所述的存储器装置,还具备:

第1电荷蓄积膜,位于所述第2导电体与所述第1半导体之间;

第2电荷蓄积膜,位于所述第6导电体与所述第1半导体之间;

第3电荷蓄积膜,位于所述第3导电体与所述第2半导体之间;

第4电荷蓄积膜,位于所述第6导电体与所述第2半导体之间;

第5电荷蓄积膜,位于所述第3导电体与所述第3半导体之间;及

第6电荷蓄积膜,位于所述第7导电体与所述第3半导体之间。

9.根据权利要求8所述的存储器装置,其中

所述第1电荷蓄积膜与所述第2电荷蓄积膜彼此分离,

所述第3电荷蓄积膜与所述第4电荷蓄积膜彼此分离,且

所述第5电荷蓄积膜与所述第6电荷蓄积膜彼此分离。

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