[发明专利]用于打印头的管芯及在管芯上形成裂纹检测器迹线的方法

说明书

本文描述了一种用于打印头的管芯。该管芯包括：多个流体馈送孔，这些流体馈送孔布置成平行于管芯的纵向轴线的行。多个射流致动器布置成平行于流体馈送孔的行。裂纹检测器迹线布线在多个流体馈送孔中的每个之间。

技术领域

本公开涉及用于打印头的管芯。

背景技术

作为流体喷射系统的一个示例，打印系统可包括打印头、向打印头供应液体墨的墨供应器和控制打印头的电子控制器。打印头通过多个喷嘴或孔口将打印液滴喷射到打印介质上。合适的打印流体可包括用于进行二维或三维打印的墨和试剂。打印头可包括在集成电路晶片或管芯(die)上制造的热打印头或压电打印头。首先制造驱动电子器件和控制特征，然后添加多列加热器电阻器，并且最后添加例如由光可成像环氧树脂形成的结构层并进行处理，以形成微射流喷射器或液滴发生器。在一些示例中，微射流喷射器被布置成至少一列或阵列，使得当打印头与打印介质相对彼此运动时，墨从孔口的适当顺序喷射使字符或其他图像打印到打印介质上。

发明内容

根据第一方面，本公开提供一种用于打印头的管芯，所述管芯包括：

多个流体馈送孔，所述多个流体馈送孔布置成平行于所述管芯的纵向轴线的行；

多个射流致动器，所述多个射流致动器布置成平行于所述多个流体馈送孔的行；以及

裂纹检测器迹线，所述裂纹检测器迹线被布线在所述多个流体馈送孔中的各个流体馈送孔之间，其中所述裂纹检测器迹线在两个流体馈送孔之间并垂直于所述纵向轴线的部分是脆性的，且所述裂纹检测器迹线的平行于所述纵向流体馈送孔的部分是柔性的。

根据第二方面，本公开提供一种用于在用于打印头的管芯上形成裂纹检测器迹线的方法，所述方法包括：

蚀刻多个流体馈送孔为平行于衬底的纵向轴线的行；以及

在所述衬底上在所述多个流体馈送孔中的各个流体馈送孔之间形成所述裂纹检测器迹线的多个层，包括从脆性材料形成所述裂纹检测器迹线在两个流体馈送孔之间并垂直于所述纵向轴线的部分以及从柔性导体形成所述裂纹检测器迹线的平行于纵向流体馈送孔的部分。

附图说明

在以下详细描述中参考附图描述了某些示例，在附图中：

图1A是用于打印头的管芯的示例的视图；

图1B是该管芯的一部分的放大视图；

图2A是用于打印头的管芯的示例的视图；

图2B是该管芯的一部分的放大视图；

图3A是由安装在封装化合物中的黑色管芯形成的打印头的示例的图；

图3B是使用彩色管芯形成的打印头的示例的图，这些彩色管芯可以用于三种颜色的墨；

图3C通过实心部分和具有流体馈送孔的部分示出了包括安装管芯的打印头的截面视图；

图4是结合了关于图3B描述的彩色管芯的打印机盒；

图5是彩色管芯的示例的一部分的图，示出了用于形成该彩色管芯的多个层；

图6A和图6B是彩色管芯的图，示出了将彩色管芯的逻辑电路连接到彩色管芯的电源侧的FET的多晶硅迹线的示例的特写视图；

图7A和图7B是彩色管芯的图，示出了流体馈送孔之间的迹线的特写视图；

图8A和图8B是两个流体馈送孔之间的截面的电子显微照片的图；

图9是用于形成管芯的方法的示例的过程流程图；

图10是用于使用多个层在管芯上形成部件的方法的示例的过程流程图；