[发明专利]掩模框架集成、用于掩模框架的载体和用于处理掩模的方法

说明书

本发明描述一种用于掩模的载体。载体包括载体主体，具有被配置以面向掩模的至少一部分的表面，所述载体主体具有用于材料沉积的开口；和磁性保持布置，具有在所述载体主体的开口周围、布置在载体主体处的一个或多个磁性保持器。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于垂直有机发光二极管(organic light emittingdiode；OLED)蒸发的掩模框架集成、在真空系统中的真空下处理掩模的方法，和特别地涉及处理被配置用于在真空系统中的基板上掩模沉积蒸发材料的掩模的方法。更特别地，本公开内容的实施方式和实施涉及用于掩模的载体、掩模处理模块、在掩模载体上装载掩模的方法，和在处理腔室中将掩模相对于基板对准的方法。

背景技术

由于多种原因，使用有机材料的光电装置正变得越来越流行。用于制造这些装置的大多数有机材料相对便宜，以使得有机光电装置与无机装置相比具有成本优势的潜力。有机材料的固有性质可有利用于诸如在柔性或非柔性基板上沉积的应用。有机光电装置的实例包括有机发光装置(organic light emitting device；OLED)、有机光电二极管、有机光伏电池，和有机光电探测器。

OLED的有机材料可提供优于传统材料的性能优势。例如，有机发射层发射光的波长可容易地通过适当的掺杂剂调节。当在装置上施加电压时，OLED利用发射光的薄的有机薄膜。OLED正在变为用于诸如平板显示器、照明和背光的应用的日益感兴趣的技术。

材料，特别地有机材料，通常在低于大气压的压力下(即在真空下)沉积在真空腔室中的基板上。特别地对于红绿蓝(red-green-blue；RGB)OLED制造，掩模在沉积期间被布置在基板的前面，其中所述掩模可具有界定开口图案的至少一个开口或多个开口，所述开口图案对应于将例如通过蒸发沉积在基板上的材料图案。基板通常在沉积期间布置在掩模的后面并且相对于掩模对准。例如，掩模载体可用于将掩模携载到真空系统的沉积腔室中，并且基板载体可用于携载基板到沉积腔室中以便将基板布置在掩模后面。

OLED显示器制造需要增加基板尺寸以降低显示器的制造成本。对于RGB(红绿蓝)OLED显示器，每个像素都包括用于红色发射、绿色发射和蓝色发射的有机材料。因此，发出不同颜色的有机材料是以各种图案沉积，所述图案将在微米尺度上彼此精确地相邻沉积。此图案是通过例如精细金属掩模(FFM)来产生。掩模通常包括掩模框架和掩模板，所述掩模板具有带多个小开口的图案。在显示器制造设施中，掩模通常是在水平定向上处理。

大面积基板可有利地以垂直或基本上垂直的定向处理。由于不断增加的基板大小，处理系统的占地面积可通过垂直处理来减小。像素定位精度(特别地在大面积基板上)可能会受到将掩模定向从水平定向改变为垂直定向的影响。考虑在例如1m²或以上的大面积上的微米范围的对准，施加在包括掩模框架和掩模板的掩模上的重力可能通过改变掩模定向而损坏对准。

因此，需要提高掩模处理和掩模对准以允许在大面积基板上的垂直基板处理。

发明内容

鉴于上文，本发明提供了用于掩模的载体、掩模处理模块、在掩模载体上装载掩模的方法，和在处理腔室中将掩模相对于基板对准的方法。本公开内容的进一步的方面、优点和特征是从权利要求书、说明书和附图中显而易见的。

根据一个实施方式，提供了一种用于掩模的载体。载体包括载体主体，具有被配置以面向掩模的至少一部分的表面，所述载体主体具有用于材料沉积的开口；和磁性保持布置，具有在所述载体主体的开口周围、布置在载体主体处的一个或多个磁性保持器。

根据一个实施方式，提供了一种掩模处理模块。掩模处理模块包括真空腔室；和电源，被配置以提供功率至掩模载体，用于在真空腔室之内切换一个或多个EPM。