[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，具有：

筒状的外壳；

一对侧板，它们将所述外壳的轴线方向的两侧的开口端封闭；

泵室，其在所述外壳的内部形成于所述侧板之间；以及

加热器，其安装于至少一个所述侧板，

安装有所述加热器的所述侧板具备：

第1板；

第2板，其从所述轴线方向上的所述泵室的相反侧与所述第1板重叠；以及

狭缝，其形成于所述第1板与所述第2板之间，

所述加热器配置成在所述狭缝内与所述第1板接触的状态，

当将所述第1板的所述第2板侧的端面称为第1板端面、且将所述第2板的所述第1板侧的端面称为第2板端面时，

所述第1、第2板端面各自的中心侧端面部分相互抵接，

所述第1、第2板端面各自的将所述中心侧端面部分包围的外周侧端面部分在所述轴线方向上相互分离，

在所述外周侧端面部分之间形成有将所述中心侧端面部分包围的环状的所述狭缝，

在所述狭缝中沿着所述外周侧端面部分配置有环状的所述加热器。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述真空泵具备加热器压板，

所述加热器利用所述加热器压板而安装于所述第2板端面的所述外周侧端面部分。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述加热器为面状发热体。