[发明专利]真空泵

说明书

在真空泵(1)中，规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9)，薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热，所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率，能够高效地抑制生成物的附着、堆积。

技术领域

本发明涉及一种真空泵，其具备用于抑制排出气体中含有的生成物等堆积于泵室内壁面的加热器。

背景技术

机械增压泵等真空泵形成为如下构造：对于泵作用部不使用密封液，一对泵转子沿着泵室内周壁保持微小的间隙且朝相反方向无接触地旋转，由此将恒定量的气体从进气侧向排气侧输送而实现真空。该形式的真空泵能够实现油蒸气污染较少的真空排气，以在蚀刻、CVD等半导体制造工艺中创建清洁的真空空间为目的而使用。

在半导体制造工艺等中从腔室等排出的气体中含有工艺过程中附带生成的副生成物等。在利用真空泵将产生的气体抽吸排出的情况下，抽吸出的气体中含有的生成物等有时会凝固而附着/堆积于泵室内壁。例如，在泵室内，在以微小间隔与泵转子的端面对置的泵室的两端侧板的表面等有时会引起生成物的蓄积、固附。由于蓄积物、固附物堵塞于微小间隙中，因此会引起如下弊端等：泵转子的旋转停止，泵转子的旋转驱动力升高使得对泵转子进行旋转驱动的马达处于过大电流的状态而导致泵停止。另外，当泵停止之后再运转时，有时也会因蓄积物、固附物而使得泵无法重启。

因此，在这样的气体排出用的真空泵中，利用加热器对泵室内壁部分进行加热而抑制蓄积物、固附物的产生。以往，一般在泵壳体的两端部的外周面部分卷绕有夹套加热器，从外侧间接地对泵室内壁部分进行加热。在专利文献1中，对于涡轮分子泵，在泵壳体的一端即泵座埋设有管，在管内配置有加热器，从内部对泵座进行加热，由此抑制泵室内的气体凝固物的堆积。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－95315号公报

发明内容

关于在真空泵的外周面部分卷绕加热器而从外侧间接地对泵内壁部分进行加热的方法，存在加热效率较差的问题。另外，关于专利文献1中记载的在构成泵壳体的部件的内部埋设加热器的构造，存在如下问题：加热器埋设部分的构造变得复杂，在加热器埋设部分埋设加热器的作业的作业效率也较差。而且，在将加热器埋设于泵壳体而进行内部加热的情况下，泵室内壁部分以外的部分也被加热。例如，在配置有与加热器埋设位置相邻且对泵转子进行支承的轴承部等的情况下，会产生这样的部分也被加热的弊端。

鉴于以上问题，本发明的目的在于提供一种真空泵，其能够简单地进行加热器的组装，并且能够高效地对泵室内壁部分进行加热。

为了解决上述的课题，本发明的真空泵的特征在于，具有：筒状的外壳；一对侧板，它们将外壳的轴线方向的两侧的开口端封闭；泵室，其在外壳的内部形成于侧板之间；以及加热器，其安装于至少一个侧板，安装有加热器的侧板具备：第1板；第2板，其从轴线方向上的泵室的相反侧与第1板重叠；以及狭缝，其形成于第1板与第2板之间，加热器配置成在狭缝内与第1板接触的状态。

在本发明的真空泵中，将规定泵室的两端的侧板中的一个或双方设为能够在轴线方向上分割的分割结构的侧板，在分割部件即第1、第2板之间形成有加热器设置用的狭缝。与在单一部件的内部形成有加热器埋设部分的情况不同，不使侧板的构造变得复杂就能够在侧板的内部组装加热器。另外，能够从内部直接对规定泵室的端面的侧板进行加热，所以能够提高加热效率。而且，通过在第1、第2板之间形成的狭缝而使得第1、第2板之间的接触面积减小。通过狭缝形成能够抑制从第1板向第2板的热传导的隔热构造。因而，能够降低朝向供轴承等配置的第2板侧的导热量。

在此，作为加热器而优选使用面状发热体(薄膜加热器或片材加热器)，以便能够将加热器配置于在第1、第2板之间形成的狭窄的狭缝。