[发明专利]用于使基板对准的方法和装置

权利要求书

1.一种用于使基板（2o、2u）对准的装置，其包括：

- 第一基板固持器（lo、lo'、lo''、lo'''、lu），用于容纳第一基板（2o、2u），其中所述第一基板（2o、2u）具有至少两个对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur），

- 第二基板固持器（lo、lo'、lo''、lo'''、lu），用于容纳第二基板（2o、2u），其中所述第二基板（2o、2u）具有至少两个其它对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur），

- 至少一个对准光学器件（6ol、6or、6ul、6ur），用于检测所述对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur），

其特征在于

- 所述装置还具有：

- 至少一个定位光学器件（7ul、7ur、7uv、7uh），用于检测位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov），

其中所述第一基板（2o、2u）的对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur）和所述第二基板（2o、2u）的其它对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur）能根据所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）来彼此对准。

2.根据权利要求1所述的装置，其中当所述第一基板（2o、2u）的至少两个对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur）中的一个或多个对准标记对于所述至少一个对准光学器件（6ol、6or、6ul、6ur）来说被所述第二基板（2o、2u）遮挡时和/或当所述第二基板（2o、2u）的至少两个其它对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur）中的一个或多个对准标记对于所述至少一个对准光学器件（6ol、6or、6ul、6ur）来说被所述第一基板（2o、2u）遮挡时，所述基板（2o、2u）的对准标记（5、5ol、5or、5ul、5ur）能通过所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）来彼此对准。

3.根据上述权利要求中至少一项所述的装置，其中由所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）、尤其是规则布置的位置标记形成位置标记场（3ol、3or、3ol'、3or'、3o''、3ov、3oh），其中尤其是不同位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）相对于彼此的方位、尤其是在由所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）形成的位置标记场（3ol、3or、3ol'、3or'、3o''、3ov、3oh）中的不同位置标记相对于彼此的方位是已知的。

4.根据上述权利要求中至少一项所述的装置，其中所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）由多个、尤其是不规则布置的精细定位元件形成。

5.根据上述权利要求中至少一项所述的装置，其中每个位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）都不一样地形成，其中尤其是所述位置标记具有特定的、尤其是能通过所述定位光学器件（7ul、7ur、7uv、7uh）检测到的信息内容。

6.根据上述权利要求中至少一项所述的装置，其中所述位置标记（4、4o、4ol、4or、4oh、4ov）具有以下实现形式中的一个或多个：

- QR码

- 条形码

- 几何图形，尤其是三维几何图形，

- 字符串，尤其是字母序列和/或数字序列，优选地是二进制码，

- 图像。

7.根据上述权利要求中至少一项所述的装置，其中至少一个基板固持器（lo、lo'、lo''、lo'''、lu）和/或所述至少一个定位光学器件（7ul、7ur、7uv、7uh）能在至少两个方向上、尤其是在x方向和y方向上移动。