[发明专利]用于使基板对准的方法和装置

说明书

本发明描述了用于使基板对准的一种装置和一种方法。

背景技术

现有技术中存在许多对准系统。这些对准系统中的很多对准系统是基于在两个基板之间插入用于测量对准标记的测量装置。这种对准系统的缺点在于，引入于基板之间的测量装置可能污染下基板的基板表面。另一更大的缺点在于，测量装置具有一定高度。因此，这两个基板必须彼此至少相距该高度。在测量装置已测量两个基板表面并被移除之后，基板仍必须总是彼此靠近且沿着基板之间的整个距离都彼此靠近。在此靠近期间，在基板之间的横向方向上已发生一重新位移且因此再次使基板相对于彼此的先前测量及调整的横向对准无效。

现有技术的进一步发展是如下对准系统，其中基板的彼此面对的基板表面彼此仅隔开几毫米，优选地甚至仅几微米，完全最优选地甚至仅几纳米。该微小间距不允许插入测量装置。然而，为了能够依据该测量装置的对准标记使基板彼此对准，基板必须相对于彼此横向移位。接着，由多个光学器件在横向移位的状态下测量对准标记，而且计算基板固持器的为了准确地使对准标记重合而必须占据的位置。这种对准系统在出版文献US6214692B1、WO2014202106A1、WO2015082020A1和WO2011042093A1中被详细论述。可非常精确地定位的基板固持器是这种对准系统的先决条件。此外，也必须在任何时间点都能够准确测量基板固持器的位置。

现有技术中的最大问题在于：基板必须经由基板固持器来就位，并且定位只能与可操控基板固持器或测量其准确位置一样精确地进行。由于基板固持器经过的横向路程为几毫米至几厘米，所以非常难以实现在微米或纳米范围内的、尤其是可再现的定位。需要非常准确的位置测量系统，尤其是干涉仪，这些位置测量系统可能相应地昂贵，维护密集且容易出错。

发明内容

因此，本发明的任务是指明一种方法和一种装置，它们至少部分地消除、尤其是完全消除现有技术中所提及的缺点。本发明的任务尤其是指明一种经改进的方法和一种装置，用于使两个基板彼此尤其是准确地对准。

该任务利用独立权利要求的特征来被解决。本发明的有利的扩展方案在从属权利要求中说明。在说明书、权利要求书和/或附图中说明的至少两个特征的所有组合也落入本发明的保护范围内。在所说明的值范围的情况下，也应将处于所提到的极限内的值视为所公开的极限值且可以任何组合来要求保护。

因此，本发明是关于一种用于使基板对准的装置，其包括：

- 第一基板固持器，用于容纳第一基板，其中该第一基板具有至少两个对准标记，

- 第二基板固持器，用于容纳第二基板，其中该第二基板具有至少两个其它对准标记，

- 至少一个对准光学器件，用于检测这些对准标记，

其中，

- 该装置还具有：

- 至少一个定位光学器件，用于检测位置标记，其中该第一基板的对准标记和该第二基板的其它对准标记可根据这些位置标记来彼此对准。

在使这些基板或这些基板的对准标记对准时，这些位置标记可用于准确对准。在此，可确定这些对准标记相对于这些位置标记的位置，并且可有利地通过用作参考的位置标记来执行对基板固持器的操控。由此，有利地，无需通过这些对准标记来进行对准，使得当这些对准标记对于这些对准光学器件来说不可及时，尤其是当这些基板以及借此这些对准标记布置得彼此非常靠近时，也可精确地实施该对准。尤其是，当这些基板布置于彼此上且彼此指向的基板表面彼此仅相距几毫米时、尤其是彼此相距仅几纳米时，可确定在使这些基板对准、尤其是使布置在这些基板上的对准标记对准时的位置。还有利的是，常见的对准系统可以简单且有利地被扩展根据本发明的方面。还有利的是，可将这些基板在对准过程中被移动的横向路程保持得尽可能小。

本发明还涉及一种用于使两个基板对准、尤其是利用用于使基板对准的装置来使两个基板对准的方法，该方法具有至少如下步骤、尤其是具有如下流程：

i）将两个基板固定在各一个基板固持器上，

ii）检测这些基板上的对准标记，