[发明专利]电离真空计和匣盒有效

专利信息
申请号: 201980099766.0 申请日: 2019-09-13
公开(公告)号: CN114341607B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 川崎洋補 申请(专利权)人: 佳能安内华股份有限公司
主分类号: G01L21/34 分类号: G01L21/34
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 宋岩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电离 真空计
【权利要求书】:

1.一种电离真空计,包括阳极、阴极和电磁波源,其中

阴极包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的第一阴极板,所述第一阴极板包括阳极通过的第一贯通孔、被配置为储存电磁波源的储存部、以及布置在储存部和第一贯通孔之间并且被配置为使由电磁波源产生的电磁波通过的通路,

其中,所述通路包括布置在第一表面和第二表面之间的部分,使得由电磁波源产生的电磁波通过所述通路的所述部分到达第一贯通孔。

2.根据权利要求1所述的电离真空计,其中,阴极还包括管状部分和第二阴极板,所述管状部分被配置为围绕阳极和第一阴极板,所述第二阴极板布置在管状部分中并具有第二贯通孔,以及

管状部分的一端开放,管状部分的另一端由密封构件密封,并且第一阴极板布置在第二阴极板和密封构件之间。

3.根据权利要求2所述的电离真空计,其中,第二表面和所述通路面向由第一阴极板、密封构件和管状部分围绕的空间。

4.根据权利要求2所述的电离真空计,其中,所述通路的所述部分包括被配置为使储存部和第一贯通孔连通的第三贯通孔。

5.根据权利要求2所述的电离真空计,其中,阴极还包括在第一阴极板和第二阴极板之间的第三阴极板,以及

第三阴极板被配置为将由电磁波源产生的电磁波传输到由第二阴极板、第三阴极板和管状部分围绕的放电空间。

6.根据权利要求1所述的电离真空计,其中,所述通路的所述部分被设置为在电磁波源和第一阴极板的第一贯通孔之间形成直线路径。

7.一种用于电离真空计的匣盒,所述电离真空计包括阳极、电磁波源和容器,所述匣盒包括

具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的第一阴极板,所述第一阴极板包括阳极通过的第一贯通孔、被配置为储存电磁波源的储存部、以及布置在储存部和第一贯通孔之间并且被配置为使由电磁波源产生的电磁波通过的通路,

其中,所述通路包括布置在第一表面和第二表面之间的部分,使得由电磁波源产生的电磁波通过所述通路的所述部分到达第一贯通孔。

8.根据权利要求7所述的匣盒,还包括第二阴极板和内管,所述第二阴极板与第一阴极板分开地布置并且包括第二贯通孔,所述内管布置在所述容器中以支撑第一阴极板和第二阴极板。

9.根据权利要求8所述的匣盒,其中,所述容器的一端开放,并且所述容器的另一端由密封构件密封,以及

所述第二表面和所述通路面向第一阴极板和密封构件之间的空间。

10.根据权利要求8所述的匣盒,其中,所述通路的所述部分包括被配置为使储存部和第一贯通孔连通的第三贯通孔。

11.根据权利要求8所述的匣盒,还包括在第一阴极板和第二阴极板之间的第三阴极板,

其中,第三阴极板被配置为将由电磁波源产生的电磁波传输到由第二阴极板、第三阴极板和内管围绕的空间。

12.根据权利要求7所述的匣盒,其中,所述通路的所述部分被设置为在电磁波源和第一阴极板的第一贯通孔之间形成直线路径。

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