[发明专利]电离真空计和匣盒

说明书

该电离真空计包括阳极、阴极和电磁波源。阴极包括第一阴极板，该第一阴极板包括：阳极通过的贯通孔；和储存电磁波源的储存部。第一阴极板在储存部和贯通孔之间包括允许由电磁波源产生的电磁波通过的通路。

技术领域

本发明涉及电离真空计及匣盒(cartridge)。

背景技术

在电离真空计中，通过在阳极和阴极之间施加电压并因此引起放电来使气体电离，并且在阴极和阳极之间流动的电流被测量以检测压力。电离真空计可以设置有被配置为促进阳极和阴极之间的放电的感应单元。在PTL 1中，用电磁波照射阴极，并且通过光电效应从阴极发射电子，从而感应放电。然而，在长时间使用中，物质可能被沉积在电极的表面，并且可能难以感应放电。

引用列表

专利文献

PTL 1：日本专利No.6177492

发明内容

本发明提供了有利于抑制电离真空计中的放电感应性能的降低的技术。

根据本发明的第一方面，提供了一种电离真空计，该电离真空计包括阳极、阴极和电磁波源，其中，阴极包括第一阴极板，该第一阴极板包括阳极通过的贯通孔和被配置为储存电磁波源的储存部，以及其中，第一阴极板在储存部和贯通孔之间包括被配置为使由电磁波源产生的电磁波通过的通路。

根据本发明的第二方面，提供了一种用于电离真空计的匣盒，该电离真空计包括阳极、电磁波源和容器，该匣盒包括第一阴极板，该第一阴极板包括阳极通过的贯通孔和被配置为储存电磁波源的储存部，并且其中，第一阴极板在储存部和贯通孔之间包括被配置为使由电磁波源产生的电磁波通过的通路。

通过以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的其它特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出根据实施例的真空处理装置和安装到其的电离真空计的图；

图2是示出根据第一实施例的电离真空计的布置的图；

图3A是示出根据第一实施例的电离真空计的布置的图；

图3B是示出根据第一实施例的电离真空计的布置的图；

图4A是示出根据第二实施例的电离真空计的布置的图；

图4B是示出根据第二实施例的电离真空计的变形例的布置的图；

图5A是示出根据第二实施例的电离真空计的布置的图；

图5B是示出根据第二实施例的电离真空计的布置的图；

图5C是示出根据第二实施例的电离真空计的变形例的布置的图；

图5D是示出根据第二实施例的电离真空计的变形例的布置的图；

图6是示出根据第三实施例的电离真空计的布置的图；

图7A是示出根据第三实施例的电离真空计的布置的图；

图7B是示出根据第三实施例的电离真空计的布置的图。

具体实施例

以下，将参考附图详细地描述实施例。应该注意的是，以下实施例不旨在限制本发明的随附权利要求的范围。在实施例中描述了多个特征。然而，多个特征不一定都是本发明所必需的，并且多个特征可以被任意地组合。此外，在整个附图中，相同的附图标记表示相同或类似的部分，并且将省略其重复描述。

图1示出根据实施例的真空处理装置S和安装到其的电离真空计100。真空处理装置S例如可以是沉积装置。沉积装置的示例为溅射装置、PVD装置和CVD装置。真空处理装置S可以是诸如灰化装置或干法刻蚀装置之类的表面处理装置。