[发明专利]用于数字光刻装置的数字图案文件优化

权利要求书

1.一种用于为数字光刻装置优化数字图案文件的方法，所述方法包括以下步骤：

从所述数字图案文件中去除冗余单元，以生成第一更新的数字图案文件；

比较所述第一更新的数字图案文件和所述数字图案文件；

减少所述第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点数目，以生成第二更新的数字图案文件；

比较所述第二更新的数字图案文件和所述第一更新的数字图案文件；

用第一单元的替代版本替换所述第二更新的数字图案文件的所述第一单元，以生成第三更新的数字图案文件；

比较所述第三更新的数字图案文件和所述第二更新的数字图案文件；

将所述第三更新的数字图案文件中的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形，以生成优化的数字图案文件；和

比较所述优化的数字图案文件和所述第三更新的数字图案文件。

2.如权利要求1所述的方法，其中从所述数字图案文件中去除冗余单元的步骤包括以下步骤：

识别所述数字图案文件的第一单元，所述第一单元均等于所述数字图案文件的第二单元；和

将所述数字图案文件的所述第二单元替换为所述数字图案文件的所述第一单元。

3.如权利要求1所述的方法，其中比较所述第一更新的数字图案文件和所述数字图案文件的步骤包括以下步骤：

执行所述第一更新的数字图案文件与所述数字图案文件的单元比较，并将所述比较的输出与错误阈值进行比较。

4.如权利要求1所述的方法，其中比较所述第二更新的数字图案文件和所述第一更新的数字图案文件的步骤包括以下步骤：

决定所述减少顶点的第一弧形和所述第一弧形之间的差；和

比较所述差与阈值。

5.如权利要求1所述的方法，比较所述第三更新的数字图案文件和所述第二更新的数字图案文件的步骤包括以下步骤：

执行所述第三更新的数字图案文件与所述第二更新的数字图案文件的单元比较。

6.如权利要求1所述的方法，其中比较所述优化的数字图案文件和所述第三更新的数字图案文件的步骤包括以下步骤：

识别所述优化的数字图案文件和所述第三更新的数字图案文件之间的差；和

比较所述差与阈值。

7.一种用于数字光刻装置的数字图案生成系统，所述系统包括：

存储器，包括数字图案文件；和

控制器，所述控制器与所述存储器耦合，所述控制器配置为：

从所述数字图案文件中去除冗余单元，以生成第一更新的数字图案文件；

比较所述第一更新的数字图案文件和所述数字图案文件；

减少所述第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点数目，以生成第二更新的数字图案文件；

比较所述第二更新的数字图案文件和所述第一更新的数字图案文件；

用第一单元的替代版本替换所述第二更新的数字图案文件的所述第一单元，以生成第三更新的数字图案文件；

比较所述第三更新的数字图案文件和所述第二更新的数字图案文件；

将所述第三更新的数字图案文件中的一个或多个多边形转换为四边形多边形，以生成优化的数字图案文件；和

比较所述优化的数字图案文件和所述第三更新的数字图案文件。

8.如权利要求7所述的系统，其中从所述数字图案文件中去除冗余单元包括：

识别所述数字图案文件的第一单元，所述第一单元均等于所述数字图案文件的第二单元；和

将所述数字图案文件的所述第二单元替换为所述数字图案文件的所述第一单元。

9.如权利要求7所述的系统，其中比较所述第一更新的数字图案文件和所述数字图案文件包括：

执行所述第一更新的数字图案文件与所述数字图案文件的单元比较。