[发明专利]用于数字光刻装置的数字图案文件优化

说明书

数字图案生成系统包括存储器和控制器。控制器耦合到存储器，并且被配置为从数字图案文件中去除冗余单元、生成第一更新的数字图案文件、并将第一更新的数字图案文件与数字图案文件进行比较。再者，减少第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点数目，以生成第二更新的数字图案文件。此外，用第一单元的替代版本替换第二更新的数字图案文件的第一单元，以生成第三更新的数字图案文件。再者，将第三更新的数字图案文件中的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形，以生成优化的数字图案文件。

技术领域

本公开内容的实施方式总体上涉及生成用于数字光刻系统的设计文件。

背景技术

光刻法用于半导体装置的制造中。常规的光刻方法包括将设计图案转移到一组光掩模上，这组光掩模被转移到光刻胶上。鉴于原始设计，对光掩模进行检查以验证光掩模的准确性和质量。然而，将设计图案转移到一组光掩模上并验证光掩模的准确性和质量，是耗时且昂贵的过程。在数字光刻处理中，使用成像处理将设计图案直接数字化到光刻胶上。另外，数字光刻处理包括验证处理，以验证设计图案的准确性并为成像处理优化设计图案。但是，验证和优化处理既耗时又需要大量处理成本。

因此，本领域需要一种用于优化和验证设计文件的改进方法。

发明内容

在一个示例中，一种用于为数字光刻装置优化数字图案文件的方法包括：从数字图案文件中去除冗余单元以生成第一更新的数字图案文件，并将第一更新的数字图案文件与数字图案文件进行比较。方法还包括：减少第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点的数量以生成第二更新的数字图案文件，并且将第二更新的数字图案文件与第一更新的数字图案文件进行比较。另外，方法包括：用第一单元的替代版本替换第二更新的数字图案文件的第一单元，以生成第三更新的数字图案文件，并将第三更新的数字图案文件与第二数字图案文件进行比较。此外，方法包括：将第三更新的数字图案文件内的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形以生成优化的数字图案文件，并将优化的数字图案文件与第三更新的数字图案文件进行比较。

在一个示例中，用于生成数字图案文件的计算机程序产品包括计算机可读存储介质，计算机可读储存介质具有体现在其上的计算机可读程序代码。计算机可读程序代码可由一个或多个计算机处理器执行，以从数字图案文件中去除冗余单元以生成第一更新的数字图案文件，并将第一更新的数字图案文件与数字图案文件进行比较。此外，将第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点的数量减少为第二更新的数字图案文件，并且将第二更新的数字图案文件与第一更新的数字图案文件进行比较。另外，将数字图案文件的第一单元替换为第一单元的替代版本以生成第三更新的数字图案文件，并将第三更新的数字图案文件与第二更新的数字图案文件进行比较。此外，将第三更新的数字图案文件内的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形以生成优化的数字图案文件，并将优化的数字图案文件与第三更新的数字图案文件进行比较。

在一个示例中，一种数字图案生成系统，包括存储器和控制器。存储器控制器包括数字图案文件。控制器耦合到存储器，并且被配置为从数字图案文件中去除冗余单元、生成第一更新的数字图案文件、并将第一更新的数字图案文件与数字图案文件进行比较。控制器进一步配置以：减少第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点的数量以生成第二更新的数字图案文件，并且将第二更新的数字图案文件与第一更新的数字图案文件进行比较。另外，控制器进一步经配置以：用第一单元的替代版本替换第二更新的数字图案文件的第一单元，以生成第三更新的数字图案文件，并将第三更新的数字图案文件与第二数字图案文件进行比较。控制器进一步经配置以：将第三更新的数字图案文件内的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形以生成优化的数字图案文件，并将优化的数字图案文件与第三更新的数字图案文件进行比较。

附图说明

可参考实施方式以更特定地说明以上简要总结的本公开内容，以更详细了解本公开内容的上述特征，附加附图图标说明了其中一些实施方式。然而应注意到，附加附图仅说明示例性实施方式，且因此不应被视为限制实施方式的范围，并可承认其他等效的实施方式。