[其他]载体运输系统和真空沉积系统

权利要求书

1.一种载体运输系统，其特征在于包括在运输方向(T)中延伸的轨道组件(150)，所述轨道组件包括：

至少一个磁悬浮单元(156)，所述至少一个磁悬浮单元用于使载体(10)悬浮；和

至少一个驱动单元(154)，所述至少一个驱动单元用于沿着所述轨道组件(150)移动所述载体，

所述载体运输系统进一步包括传送装置(160)，所述传送装置用于在横向于所述运输方向(T)的路径切换方向(S)中移动所述轨道组件(150)。

2.根据权利要求1的载体运输系统，其中所述传送装置(160)被配置成用于在第一运输路径(T1)上的第一位置和第二运输路径(T2)上的第二位置之间移动所述轨道组件。

3.根据权利要求1的载体运输系统，其中所述传送装置(160)被配置成用于在第一运输路径(T1)上的第一位置、第二运输路径(T2)上的第二位置和处理位置(P)之间移动所述轨道组件。

4.根据权利要求1所述的载体运输系统，其中所述至少一个驱动单元(154)包括线性马达。

5.根据权利要求1至4中任一项的载体运输系统，其中所述至少一个磁悬浮单元(156)包括无源磁体单元。

6.根据权利要求1至4中任一项的载体运输系统，其中所述至少一个磁悬浮单元(156)包括被配置成将所述载体保持在浮动状态中的永磁体单元。

7.根据权利要求1至4中任一项的载体运输系统，其中所述轨道组件(150)包括底部轨道(151)和顶部轨道(152)，所述至少一个磁悬浮单元(156)和所述至少一个驱动单元(154)中的至少一者设置在所述底部轨道处。

8.根据权利要求7所述的载体运输路径，其中在所述顶部轨道(152)处提供用于使所述载体在所述路径切换方向(S)中稳定的侧稳定单元(158)。

9.根据权利要求8所述的载体运输路径，其中所述侧稳定单元(158)是磁性侧稳定单元。

10.根据权利要求7所述的载体运输系统，其中所述传送装置(160)包括用于在所述路径切换方向(S)中移动所述底部轨道(151)的下部传送装置和用于在所述路径切换方向(S)中与所述底部轨道(151)同步地移动所述顶部轨道(152)的上部传送装置。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的载体运输系统，其中所述轨道组件(150)包括压力密封外壳(170)，所述压力密封外壳被配置成维持在所述压力密封外壳中的预定压力，其中所述至少一个驱动单元(154)布置在所述压力密封外壳内部。

12.根据权利要求11所述的载体运输系统，其中所述压力密封外壳(170)被配置成维持在所述压力密封外壳中的大气压力。

13.根据权利要求1至4中任一项所述的载体运输系统，其中所述传送装置(160)包括：

至少一个可移动臂(161)，所述至少一个可移动臂延伸穿过真空腔室(101)的壁，并且被连接至所述轨道组件(150)；和

至少一个马达(162)，所述至少一个马达布置在所述真空腔室(101)外部，以用于在所述路径切换方向(S)中移动所述可移动臂(161)。

14.根据权利要求13所述的载体运输系统，其中所述可移动臂经由柔性波纹管(163)被连接至所述真空腔室(101)的所述壁。

15.根据权利要求13所述的载体运输系统，其中所述可移动臂提供供应通路。

16.根据权利要求15所述的载体运输系统，其中缆线和用于冷却流体的管线中的至少一个至少部分地延伸穿过所述可移动臂。