[其他]载体运输系统和真空沉积系统

说明书

描述了一种载体运输系统(100)和真空沉积系统。所述载体运输系统用于在运输方向(T)中运输载体(10)，并且包括在真空腔室(101)中在所述运输方向(T)中延伸的轨道组件(150)。所述轨道组件包括用于使载体(10)悬浮的至少一个磁悬浮单元(136)和用于沿着所述轨道组件(150)移动所述载体的至少一个驱动单元(154)。所述载体运输系统进一步包括用于在横向于所述运输方向(T)、特别是垂直于所述运输方向(T)的路径切换方向(S)中移动所述轨道组件(150)的传送装置(160)。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于运输载体、特别是用来承载大面积基板的载体的设备和方法。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于运输在用于竖直基板处理(例如，在用于显示器生产的大面积基板上的材料沉积)的处理系统中可采用的载体的设备和方法。具体地，本公开内容的实施方式涉及载体运输系统、真空沉积系统和在真空腔室中运输载体的方法。

背景技术

用于基板上的层沉积的技术包括，例如，溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。经涂覆的基板可以用于若干应用和若干技术领域中。例如，经涂覆的基板可以用于显示装置领域中。显示装置可以用在用于显示信息的电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置和类似物的制造中。典型地，通过用不同材料的层堆叠结构(stack)涂覆基板来生产显示器。

为了在基板上沉积层，可以使用处理模块的串联(in-line)布置。串联处理系统包括多个后续处理模块，诸如沉积模块和可选地另外的处理模块，例如，清洁模块和/或蚀刻模块，其中处理方面随后在处理模块中进行，使得可以在串联处理系统中连续地或准连续地(quasi-continuouly)处理多个基板。

基板典型地由载体、即用于承载基板的承载装置来承载。典型地，使用载体运输系统将载体运输通过真空系统。载体运输系统可以被配置成用于沿着一个或多个运输路径输送承载基板的载体。可以在真空系统中邻近彼此提供至少两个运输路径，例如，用于在向前方向中运输载体的第一运输路径 T1和用于在与向前方向相反的返回方向中运输载体的第二运输路径T2。

显示装置的功能典型地取决于材料的必须在预定范围内的涂覆厚度。为了获得高分辨显示装置，需要应对与材料沉积相关的技术挑战。具体地，将载体准确且平稳地运输通过真空系统是有挑战性的。例如，因移动零件的磨损而造成的颗粒产生可能会导致制造工艺的劣化。因此，存在对以减少或最小化的颗粒产生在真空沉积系统中运输载体的需求。其他挑战是例如以低成本提供用于高温真空环境的稳健载体运输系统。

因此，提供克服现有技术中的至少一些问题的用于在真空腔室中运输载体的改进的设备和方法以及改进的真空沉积系统是有益的。

实用新型内容

鉴于以上内容，提供根据独立权利要求的用于在真空腔室中运输载体的载体运输系统、真空沉积系统以及在真空腔室中运输载体的方法。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图而明显。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于运输载体的载体运输系统。所述载体系统包括在运输方向中延伸的轨道组件。所述轨道组件包括用于使载体悬浮的至少一个磁悬浮单元和用于沿着轨道组件移动载体的至少一个驱动单元。所述载体运输系统进一步包括用于在横向于运输方向的路径切换方向中移动轨道组件的传送装置。

在一些实施方式中，所述传送装置被配置成用于在第一运输路径上的第一位置和第二运输路径上的第二位置之间移动所述轨道组件。

在一些实施方式中，所述传送装置被配置成用于在第一运输路径上的第一位置、第二运输路径上的第二位置和处理位置之间移动所述轨道组件。

在一些实施方式中，所述至少一个驱动单元包括线性马达。

在一些实施方式中，所述至少一个磁悬浮单元包括无源磁体单元。

在一些实施方式中，所述至少一个磁悬浮单元包括被配置成将所述载体保持在浮动状态中的永磁体单元。