[发明专利]对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法

说明书

本发明涉及一种对位掩膜板，包括金属框架和固定于所述金属框架上的至少一个对位掩膜条，所述对位掩膜条上设置有对位标记，所述对位掩膜条为条状结构，每个所述对位掩膜条固定于所述金属框架的一个边框上，所述对位掩膜条的宽度小于所述金属框架相应的边框的宽度，且所述对位掩膜条的内侧边缘与所述金属框架相应的边框的内侧边缘平齐，或者所述对位掩膜条的内侧边缘位于所述金属框架的相应的边框上。本发明还涉及一种对位机构及对位掩膜板的制备方法。

技术领域

本发明涉及显示产品技术领域，尤其涉及一种对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法。

背景技术

目前应用于生产OLED(OrganicLight-Emitting Diode)面板的主流工艺为真空蒸镀。在真空蒸镀过程中，精细金属掩膜版(Fine mental mask，FMM) 通过在像素位置开孔使有机发光材料蒸镀在指定位置。在这个过程中，蒸镀的位置精度至关重要。对位掩膜版(Align Mask)上的对位标记(Align Mark) 在其中起到关键作用，所以对于对位标记的位置精度要求很高。

相关的对位掩膜板的结构中，有一部分位于蒸镀磁力保证区内，因此在蒸镀过程中受到磁力的反复吸附和拉扯，这种磁力的影响随着蒸镀过程的进行会引起对位标记附近焊点的脱落、从而引起对位标记的漂移，且多次的压合和分离也会引起对位标记焊点的松动或脱落，引起对位标记焊点松动或脱落。在将精细金属掩膜版(Fine Mental Mask，FMM)焊接到金属框架(Frame)上之前需先将对位掩膜版焊接在金属框架上。之后以对位掩膜版上的对位标记建立坐标系将精细金属掩膜版焊接在金属框架上，因此对位标记的漂移对于蒸镀精度的影响很严重。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法，解决在蒸镀过程中，对位掩膜板受磁力影响而使得对位标记偏移的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种对位掩膜板，包括金属框架和固定于所述金属框架上的至少一个对位掩膜条，所述对位掩膜条上设置有对位标记，

所述对位掩膜条为条状结构，每个所述对位掩膜条固定于所述金属框架的一个边框上，每个所述对位掩膜条的宽度小于所述金属框架相应的边框的宽度，每个所述对位掩膜条在所述金属框架上的正投影完全位于所述金属框架的边框内。

可选的，所述金属框架包括相对设置的两个边框，每个所述边框上固定连接有一个所述对位掩膜条，每个所述对位掩膜条的延伸方向与相应的所述边框的延伸方向相同。

可选的，每个所述对位掩膜条上均匀设置有多个所述对位标记，所述对位标记为贯穿设置于所述对位掩膜条上的通孔。

可选的，所述对位标记的四周与所述金属框架焊接固定在一起。

可选的，所述对位掩膜条包括第一凹槽，所述对位标记位于所述第一凹槽的底部。

本发明还涉及一种对位机构，包括上述的对位掩膜板。

可选的，还包括：

用于固定对位掩膜板的第一固定部；

用于固定待对位基板的第二固定部；

设置于所述待对位基板远离所述对位掩膜板的一侧的接触板；

设置于所述接触板远离所述待对位基板的一侧的磁力板，所述接触板面向所述待对位基板的一侧设置有数量与所述对位标记数量相同的第二凹槽，所述对位标记在所述接触板上的正投影位于相应的所述第二凹槽内。

本发明还提供一种上述述的对位掩膜板的制备方法，包括：

制作呈条状的至少一个对位掩膜条和金属框架，且所述对位掩膜条的宽度小于所述金属框架的边框的宽度；

在至少一个所述对位掩膜条上形成多个对位标记；