[发明专利]一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记

权利要求书

1.一种套刻标记方法，其特征在于，包括：

在第一材料层上，分别沿第一方向和第二方向各形成至少一个第一标记列，所述第一标记列包括N个第一标记，每个所述第一标记包括P个第一子标记，所述第一子标记的形状为通过多个块状图形而形成的长条状；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直；

在所述第一材料层上形成第二材料层；

在所述第二材料层上，分别沿所述第一方向和所述第二方向各形成至少一个第二标记列，所述第二标记列包括与每一所述第一标记一一对应的N个第二标记，每个所述第二标记包括Q个长条状的第二子标记；

其中，N、P和Q均为大于1的整数，且P大于Q；

其中，所述第一标记的宽度大于所述第二标记的宽度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，沿所述第一方向的第一标记列中的第一标记和沿所述第一方向的第二标记列中的第二标记一一对应，沿所述第一方向的第一标记列中的第一标记的长度方向和沿所述第一方向的第二标记列中的第二标记的长度方向与所述第一方向垂直；沿所述第二方向的第一标记列中的第一标记和沿所述第二方向第二标记列中的第二标记一一对应，沿所述第二方向的第一标记列中的第一标记的长度方向和沿所述第二方向的第二标记列中的第二标记的长度方向与所述第二方向垂直。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，每个标记列中的标记数量相等，将所述第一标记列和第二标记列投影在同一平面时，第一方向的第一标记列位于所述第一方向的第二标记列的内侧，第二方向的第一标记列位于所述第二方向的第二标记列内侧。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述在第一材料层上，分别沿第一方向和第二方向形成至少一个第一标记列，包括：在第一材料层上形成分别沿第一方向和第二方向的两个第一标记列；

对应地，在第二材料层上，分别沿所述第一方向和所述第二方向形成两个第二标记列，其中，同一方向的两个标记列中心对称。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标记的宽度与相邻两个第一标记之间的距离之和为第一距离，所述第二标记的宽度与相邻两个第二标记之间的距离之和为第二距离；

其中，所述第一距离等于所述第二距离。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一子标记的宽度小于所述第二子标记的宽度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二子标记的宽度等于第一子标记的宽度与相邻两个第一子标记之间的距离之和。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，相邻两个所述第一子标记之间的距离小于相邻两个第二子标记之间的距离。

9.根据权利要求1至8任一所述的方法，所述第一标记和第二标记被形成为凹槽状或凸起状。

10.一种套刻测量方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

在第一材料层上，分别沿第一方向和第二方向各形成至少一个第一标记列，所述第一标记列包括N个第一标记，每个所述第一标记包括P个第一子标记，所述第一子标记的形状为通过多个块状图形而形成的长条状；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直；

在所述第一材料层上形成第二材料层；

在所述第二材料层上，分别沿所述第一方向和所述第二方向各形成至少一个第二标记列，所述第二标记列包括与每一所述第一标记一一对应的N个第二标记，每个所述第二标记包括Q个长条状的第二子标记；其中，N、P和Q均为大于1的整数，且P大于Q；所述第一标记的宽度大于所述第二标记的宽度；

根据所述N个第一标记和所述N个第二标记进行套刻量测。

11.一种套刻标记，其特征在于，所述套刻标记包括：

分别沿第一方向和第二方向各设置的至少一个第一标记列，所述第一标记列包括N个第一标记，每个所述第一标记包括P个第一子标记，所述第一子标记的形状为通过多个块状图形而形成的长条状；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直；

分别沿所述第一方向和所述第二方向各设置的至少一个第二标记列，所述第二标记列包括N个第二标记，每个所述第二标记包括Q个长条状的第二子标记；

其中，一个第一标记和一个第二标记一一对应，N、P和Q均为大于1的整数，且P大于Q；

其中，所述第一标记的宽度大于所述第二标记的宽度。