[发明专利]多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备在审

专利信息
申请号: 202010003397.5 申请日: 2020-01-02
公开(公告)号: CN111220830A 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 左宁;党景涛;高慧莹 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R1/04;G01R31/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 徐丽
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 元件 电气 指标 测试 方法 装置 电子设备
【权利要求书】:

1.一种多个元件的电气指标测试方法,其特征在于,包括:

获取设定数量的待测元件;所述设定数量大于一;

将所述设定数量的待测元件固定在设定的夹具上;

通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的所述待测元件的测试文件进行修正;

基于修正后的所述测试文件,通过所述飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述夹具包括阵列测试夹具;所述设定数量的待测元件由阵列测试夹具固定;固定后的多个待测元件呈阵列式分布。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过飞针设备及摄像头对待测元件进行基准点对预先获取的待测元件的测试文件进行修正的步骤,包括:

对当前待测元件进行基准点对准,得到对应的坐标校正参数;

通过所述坐标校正参数对预先获取的当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行修正;

判断固定在所述夹具上的待测元件是否均通过基准点校准;

如果否,按照设定的顺序将当前待测元件的下一个待测元件作为当前待测元件,继续执行对当前待测元件进行基准点对准的步骤,直至固定在所述夹具上的待测元件均通过基准点校准。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述图像采集设备包括基于电荷耦合元件的摄像头;所述摄像头用于采集图像;所述飞针设备包括测针及电机;所述电机用于带动所述测针移动;所述摄像头固定在所述测针上;所述待测元件的测试文件中保存有所述待测元件的待测点的坐标信息;

对当前待测元件进行基准点对准,得到对应的坐标校正参数的步骤,包括:

通过所述电机带动所述测针移动,使得当前待测元件出现在所述摄像头采集的图像中;

选取当前的待测元件中两个待测点作为第一基准点及第二基准点;

确定所述第一基准点及第二基准点在在所述图像中的第一测试坐标及第二测试坐标;

基于所述第一测试坐标、所述第二测试坐标及所述第一基准点及第二基准点在所述测试文件中的第一坐标信息及第二坐标信息,计算所述当前待测元件的当前坐标相对于测试文件中坐标信息的缩放量、平移量及旋转量;

将所述缩放量、平移量及旋转量确定为坐标校正参数。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,通过所述坐标校正参数对预先获取的当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行修正的步骤,包括:

基于所述平移量及旋转量依次对当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行平移及旋转处理,得到修正后的测试文件。

6.一种多个元件的电气指标测试装置,其特征在于,包括:

元件获取模块,用于获取设定数量的待测元件;所述设定数量大于一;

元件固定模块,用于将设定数量的待测元件固定在设定的夹具上;

修正模块,用于通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的所述待测元件的测试文件进行修正;

测试模块,用于基于修正后的所述测试文件,通过所述飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述修正模块还用于:

对当前待测元件进行基准点对准,得到对应的坐标校正参数;

通过所述坐标校正参数对预先获取的当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行修正;

判断固定在所述夹具上的待测元件是否均通过基准点校准;

如果否,按照设定的顺序将当前待测元件的下一个待测元件作为当前待测元件,继续执行对当前待测元件进行基准点对准的步骤,直至固定在所述夹具上的待测元件均通过基准点校准。

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