[发明专利]多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备在审

专利信息
申请号: 202010003397.5 申请日: 2020-01-02
公开(公告)号: CN111220830A 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 左宁;党景涛;高慧莹 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R1/04;G01R31/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 徐丽
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 元件 电气 指标 测试 方法 装置 电子设备
【说明书】:

发明提供了一种多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备,获取多个待测元件后,将设定数量的待测元件固定在设定的夹具上;通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的待测元件的测试文件进行修正;基于修正后的测试文件,通过飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。本发明通过对多个待测元件的批量化夹持及校准,提高了对大量的待测元件的测量效率,降低了人工成本。

技术领域

本发明涉及电子电路技术领域,尤其是涉及一种多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备。

背景技术

相关技术中,在采用飞针设备对同一批次的大量电子元件或电路板的电气指标进行测试时,通常采用单个测量的方法,每次测试都需要进行夹持对准、坐标修正等一系列操作,效率较低,且人工成本较高。

发明内容

有鉴于此,本发明的目的在于提供多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备,以提高对大量的待测元件的测量效率,降低人工成本。

第一方面,本发明实施例提供了一种多个元件的电气指标测试方法,包括:获取设定数量的待测元件;设定数量大于一;将设定数量的待测元件固定在设定的夹具上;通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的待测元件的测试文件进行修正;基于修正后的测试文件,通过飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。

结合第一方面,本发明实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式,其中,上述夹具包括阵列测试夹具;设定数量的待测元件由阵列测试夹具固定;固定后的多个待测元件呈阵列式分布。

结合第一方面,本发明实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式,其中,通过飞针设备及摄像头对待测元件进行基准点对预先获取的待测元件的测试文件进行修正的步骤,包括:对当前待测元件进行基准点对准,得到对应的坐标校正参数;通过坐标校正参数对预先获取的当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行修正;判断固定在夹具上的待测元件是否均通过基准点校准;如果否,按照设定的顺序将当前待测元件的下一个待测元件作为当前待测元件,继续执行对当前待测元件进行基准点对准的步骤,直至固定在夹具上的待测元件均通过基准点校准。

结合第一方面的第二种可能的实施方式,本发明实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式,其中,上述图像采集设备包括基于电荷耦合元件的摄像头;该摄像头用于采集图像;该飞针设备包括测针及电机;电机用于带动测针移动;摄像头固定在测针上;上述待测元件的测试文件中保存有待测元件的待测点的坐标信息;对当前待测元件进行基准点对准,得到对应的坐标校正参数的步骤,包括:通过电机带动测针移动,使得当前待测元件出现在摄像头采集的图像中;选取当前的待测元件中两个待测点作为第一基准点及第二基准点;确定第一基准点及第二基准点在在图像中的第一测试坐标及第二测试坐标;基于第一测试坐标、第二测试坐标及第一基准点及第二基准点在测试文件中的第一坐标信息及第二坐标信息,计算当前待测元件的当前坐标相对于测试文件中坐标信息的缩放量、平移量及旋转量;将缩放量、平移量及旋转量确定为坐标校正参数。

结合第一方面的第三种可能的实施方式,本发明实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式,其中,通过坐标校正参数对预先获取的当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行修正的步骤,包括:基于平移量及旋转量依次对当前待测元件的测试文件中的测试点的坐标信息进行平移及旋转处理,得到修正后的测试文件。

第二方面,本发明实施例还提供一种多个元件的电气指标测试装置,包括:元件获取模块,用于获取设定数量的待测元件;设定数量大于一;元件固定模块,用于将设定数量的待测元件固定在设定的夹具上;修正模块,用于通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的待测元件的测试文件进行修正;测试模块,用于基于修正后的测试文件,通过飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。

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