[发明专利]一种真空高低温半导体器件测试探针台

权利要求书

1.一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体（1）、防护罩（3）、探针杆（7）和探针头（8），其特征在于：所述工作台本体（1）顶面的两端均固定连接有移动机构（4），两个移动机构（4）均包括移动箱（401），两个移动箱（401）相互远离的一侧面均固定连接有微型电机（402），两个微型电机（402）的输出端均固定连接有移动块（404），两个移动块（404）的外表面均螺纹连接有螺杆（403），两个螺杆（403）的顶面均固定连接有夹持机构（5），两个夹持机构（5）的内部均设有缓冲机构（6），两个所述夹持机构（5）均包括夹持箱（501），两个夹持箱（501）的顶面均固定镶嵌有螺母（502），两个螺母（502）的内部均螺纹连接有螺栓（503），两个夹持箱（501）的内部均开设有第一滑槽（506），两个第一滑槽（506）的内部均滑动连接有第一滑块（505），两个第一滑块（505）的顶面均固定镶嵌有轴承（504），两个轴承（504）的内圈分别与两个螺栓（503）的外表面固定连接，两个所述第一滑块（505）的底面均开设有两个相对称的第二滑槽（507），每个第二滑槽（507）的内部均滑动连接有夹持块（508），两个夹持块（508）相互靠近的一侧面均转动连接有滚珠（512），两个所述夹持箱（501）的内壁均固定连接有第二铰接块（511），两个第二铰接块（511）的内部均固定铰接有铰接杆（510），每个铰接杆（510）远离第二铰接块（511）的一端均固定铰接有第一铰接块（509）每个第一铰接块（509）的一侧面均与夹持块（508）远离探针杆（7）的一侧面固定连接，所述缓冲机构（6）包括缓冲箱（601），缓冲箱（601）的内部滑动连接有第二滑块（602），第二滑块（602）的内部开设有两组相对称的导向孔（603），每个导向孔（603）的内部均滑动连接有导向杆（604），每个导向杆（604）的两端分别与缓冲箱（601）的内顶壁和内底壁固定连接，每个导向杆（604）的外表面均设有弹簧（605）。

2.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：所述工作台本体（1）的顶面的中心开设有放置槽（2），工作台本体（1）与防护罩（3）卡接。

3.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：两个所述螺杆（403）的内部均滑动连接有滑动块（405），两个滑动块（405）的两端分别与两个移动箱（401）的内壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：所述第二滑块（602）的底面固定连接有第一磁铁（606），缓冲箱（601）的内底壁固定连接有第二磁铁（607），第二滑块（602）的顶面固定连接有支撑杆（608），每个弹簧（605）均位于第二滑块（602）与第二磁铁（607）的夹缝中。