[发明专利]一种真空高低温半导体器件测试探针台

说明书

本发明提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，涉及半导体器件技术领域。该真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体顶面的两端均固定连接有移动机构，两个移动机构均包括移动箱，两个移动箱相互远离的一侧面均固定连接有微型电机。该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置夹持机构，具备更换方便和使用方便的优点，解决了现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低的问题，通过设置缓冲机构，有效的避免了在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断的情况。

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种真空高低温半导体器件测试探针台。

背景技术

半导体器件(semiconductor device)通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波，三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。

现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低，并且探针在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断，为此，我们提出一种真空高低温半导体器件测试探针台解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，解决了背景技术中提出的问题。

技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体顶面的两端均固定连接有移动机构，两个移动机构均包括移动箱，两个移动箱相互远离的一侧面均固定连接有微型电机，两个微型电机的输出端均固定连接有移动块，两个移动块的外表面均螺纹连接有螺杆，两个螺杆的顶面均固定连接有夹持机构，两个夹持机构的内部均设有缓冲机构。

进一步改进为，所述工作台本体的顶面的中心开设有放置槽，工作台本体与防护罩卡接，通过设置放置槽，将半导体器件放置在放置槽的内部，从而便于对半导体器件进行定位。

进一步改进为，两个所述螺杆的内部均滑动连接有滑动块，两个滑动块的两端分别与两个移动箱的内壁固定连接，通过设置滑动块，使螺杆在滑动块上滑动，从而提升螺杆移动时的稳定性。

进一步改进为，两个所述夹持机构均包括夹持箱，两个夹持箱的顶面均固定镶嵌有螺母，两个螺母的内部均螺纹连接有螺栓，两个夹持箱的内部均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的内部均滑动连接有第一滑块，两个第一滑块的顶面均固定镶嵌有轴承，两个轴承的内圈分别与两个螺栓的外表面固定连接，通过设置轴承，使螺栓在轴承的内部旋转，从而使螺栓可对第一滑块进行推拉。

进一步改进为，两个所述第一滑块的底面均开设有两个相对称的第二滑槽，每个第二滑槽的内部均滑动连接有夹持块，两个夹持块相互靠近的一侧面均转动连接有滚珠，通过设置滚珠，使探针杆可经滚珠进行滑动，从而避免探针杆扎破半导体器件的外表面。

进一步改进为，两个所述夹持箱的内壁均固定连接有第二铰接块，两个第二铰接块的内部均固定铰接有铰接杆，每个铰接杆远离第二铰接块的一端均固定铰接有第一铰接块每个第一铰接块的一侧面均与夹持块远离探针杆的一侧面固定连接，通过设置第二铰接块、铰接杆和第一铰接块，将铰接杆在第一铰接块与第二铰接块的内部转动，从而对夹持块进行支撑，从而提升夹持块夹持的稳定性。