[发明专利]陶瓷部件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010004322.9 申请日: 2020-01-03
公开(公告)号: CN111446196A 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 堀内道夫;峯村知刚 申请(专利权)人: 新光电气工业株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;C04B37/02;C04B35/10;C04B35/622
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 金辉;崔炳哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 部件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种陶瓷部件,包括:

陶瓷的烧结体;以及

设置在所述烧结体内的铝或铝合金的导电部件。

2.根据权利要求1所述的陶瓷部件,其中,在所述烧结体中形成有到达所述导电部件的孔。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷部件,其中,构成所述烧结体的陶瓷中的96质量%以上为氧化铝。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的陶瓷部件,其中,所述烧结体的相对密度为90%以上。

5.一种陶瓷部件的制造方法,包括:

在第一生片与第二生片之间夹入铝或铝合金的金属膜的步骤;以及

在所述金属膜的熔点以上的温度下进行所述第一生片和所述第二生片的烧成以得到陶瓷的烧结体的步骤,

其中,在所述第一生片或所述第二生片或者该两者的与所述金属膜接触的表面的一部分处设置有空隙。

6.根据权利要求5所述的陶瓷部件的制造方法,其中,在氧化气氛下进行所述烧成。

7.根据权利要求6所述的陶瓷部件的制造方法,其中,在空气气氛下进行所述烧成。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的陶瓷部件的制造方法,其中,在700℃以上且1600℃以下的温度下进行所述烧成。

9.根据权利要求8所述的陶瓷部件的制造方法,其中,在1300℃以上且1600℃以下的温度下进行所述烧成。

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