[发明专利]半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置

权利要求书

1.一种半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置，其特征在于：

在将经过用于对从半导体工程的制程腔体排出的排出气体中的反应副产物进行收集的第1次反应副产物收集装置之后的排出气体中所包含的未被收集的反应副产物进行再次收集并供应到真空泵的反应副产物收集装置中，包括：

外壳(1)，采用圆筒管形态，配备有形成气体流入口的上板以及形成向内部延长凸出的气体排出口和结合口的下板，用于在对所流入的排出气体进行收容之后再进行排出；以及，流路方向转换式盘型收集塔(2)，以垂直排列的形态安装于上述外壳内部，用于对所流入的排出气体中的反应副产物进行收集；

其中，上述流路方向转换式盘型收集塔(2)，包括：间隔维持结合杆(25)，分别配备上下组合排列的一个以上的不同形状的周边开口-中心网格型收集盘(21)、周边网格-中心开口型收集盘(22)、周边堵塞-中心开口型收集盘(23)以及周边开口-中心堵塞型收集盘(24)，通过贯通上述各个收集盘而以上下间隔一定距离的方式进行一体化；以及，支撑部(26)，将以间隔一定距离的方式一体化的各个收集盘以与外壳的下板上侧面间隔一定距离的方式安装到气体排出口上部一侧的位置,

上述流路方向转换式盘型收集塔(2)的上下之间的配置结构，采用从上端开始依次按照周边开口-中心网格型收集盘(21)、周边网格-中心开口型收集盘(22)、周边开口-中心网格型收集盘(21)、周边堵塞-中心开口型收集盘(23)、周边开口-中心堵塞型收集盘(24)、周边堵塞-中心开口型收集盘(23)、周边开口-中心堵塞型收集盘(24)的顺序垂直排列，使得排出气体在向下部下降流动的过程中交替地流过外壳的中央和外壳，从而在初期从下部开始收集反应副产物并逐渐地在上部收集反应收集物的构成。

2.根据权利要求1所述的半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置，其特征在于：

上述周边开口-中心网格型收集盘(21)，包括：网格部(211)，形成于面状体的中央部；多个开口部(212)，沿着面状体的周边圆形排列；以及，导向边缘部(213)，沿着周围垂直地向上部凸出；其中，在上述网格部与开口部之间的面状体上圆形排列形成可供间隔维持结合杆(25)贯通的多个结合孔(214)，在上述相邻的开口部之间的面状体中的至少2个位置形成可供支撑部(26)贯通的支撑部孔(215)。

3.根据权利要求1所述的半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置，其特征在于：

上述周边网格-中心开口型收集盘(22)，包括：开口部(221)，形成于面状体的中央部；2个网格部(222)，沿着面状体的周边以圆周方向排列；以及，导向边缘部(223)，沿着周围垂直地向上部凸出；其中，在上述开口部与网格部之间的面状体上圆形排列形成可供间隔维持结合杆(25)贯通的多个结合孔(224)，在上述相邻的网格部之间的面状体中的至少2个位置形成可供支撑部(26)贯通的支撑部孔(225)。

4.根据权利要求1所述的半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置，其特征在于：

上述周边堵塞-中心开口型收集盘(23)，包括：开口部(231)，形成于面状体的中央部；以及，导向边缘部(232)，沿着周围垂直地向上部凸出；其中，在没有形成上述开口部的面状体上圆形排列形成可供间隔维持结合杆(25)贯通的多个结合孔(233)，在没有形成上述开口部的面状体中的至少2个位置形成可供支撑部(26)贯通的支撑部孔(234)。

5.根据权利要求1所述的半导体工程用流路方向转换式反应副产物收集装置，其特征在于：

上述周边开口-中心堵塞型收集盘(24)，包括：多个开口部(241)，沿着面状体的周边圆形排列；以及，导向边缘部(242)，沿着周围垂直地向上部凸出；其中，在没有形成上述开口部的中央部的面状体周边周围圆形排列形成可供间隔维持结合杆(25)贯通的多个结合孔(243)，在上述相邻的开口部之间的面状体中的至少2个位置形成可供支撑部(26)贯通的支撑部孔(244)。