[发明专利]旋转及定位复数测物的方法有效
申请号: | 202010005817.3 | 申请日: | 2020-01-03 |
公开(公告)号: | CN113074675B | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 邹昀庭;陈守猷;叶政杰 | 申请(专利权)人: | 台湾中华精测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B21/02;G01B21/20;G01B21/28 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 定位 复数 方法 | ||
1.一种旋转及定位复数测物的方法,其中所述复数测物包含第一测物及复数后续测物,其特征在于,包括下列步骤:
提供旋转装置及传感器;
利用所述旋转装置使所述第一测物沿旋转轴进行第一次旋转;
利用所述传感器量测所述第一测物于所述第一次旋转中的投影面积的宽度的变化曲线,以决定第一估算特征;
利用所述第一估算特征计算粗定位角度以分别旋转所述复数后续测物进行粗定位,所述粗定位包含下列步骤:
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度前的投影面积的宽度以定义初始值;
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度的两倍后的投影面积的宽度以定义终止值;
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度后的投影面积的宽度以定义中介值;以及
以所述粗定位角度为单位旋转,直到可以所述初始值、所述终止值及所述中介值界定真实特征所在的区间;以及
分别旋转所述复数后续测物进行细定位,以逼近所述复数后续测物的所述真实特征所在的位置,当所述第一估算特征为局部最大值时,取所述初始值与所述终止值的较大者为较近值、较小者为较远值,且当所述中介值大于所述初始值与所述终止值时,所述真实特征位于所述中介值与所述较近值之间,所述细定位包含下列步骤:
取所述较远值与所述中介值以获得具有第一斜率的第一直线方程式;
定义第二斜率为:-1*所述第一斜率;
取所述第二斜率通过所述较近值的函数为第二直线方程式;
定义所述第一直线方程式与所述第二直线方程式的交点为第二估算特征;以及
将各所述后续测物旋转至所述较近值所对应的角度与所述中介值所对应的角度的中值;
其中,所述中值为当前位置。
2.一种旋转及定位复数测物的方法,其中所述复数测物包含第一测物及复数后续测物,其特征在于,包括下列步骤:
提供旋转装置及传感器;
利用所述旋转装置使所述第一测物沿旋转轴进行第一次旋转;
利用所述传感器量测所述第一测物于所述第一次旋转中的投影面积的宽度的变化曲线,以决定第一估算特征;
利用所述第一估算特征计算粗定位角度以分别旋转所述复数后续测物进行粗定位,所述粗定位包含下列步骤:
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度前的投影面积的宽度以定义初始值;
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度的两倍后的投影面积的宽度以定义终止值;
量测各所述后续测物旋转所述粗定位角度后的投影面积的宽度以定义中介值;以及
以所述粗定位角度为单位旋转,直到可以所述初始值、所述终止值及所述中介值界定真实特征所在的区间;以及
分别旋转所述复数后续测物进行细定位,以逼近所述复数后续测物的所述真实特征所在的位置,当所述第一估算特征为局部最小值时,取所述初始值与所述终止值的较小者为较近值、较大者为较远值,且当所述中介值小于所述初始值与所述终止值时,所述真实特征位于所述中介值与所述较近值之间,所述细定位包含下列步骤:
取所述较远值与所述中介值以获得具有第一斜率的第一直线方程式;
定义第二斜率为:-1*所述第一斜率;
取所述第二斜率通过所述较近值的函数为第二直线方程式;
定义所述第一直线方程式与所述第二直线方程式的交点为第二估算特征;以及
将各所述后续测物旋转至所述较近值所对应的角度与所述中介值所对应的角度的中值;
其中,所述中值为当前位置。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,更包含更新步骤,所述更新步骤包含:
将所述中介值定义为新较近值,将所述较近值定义为新较远值,且将所述当前位置所对应的角度定义为新中介值;
取所述新较远值与所述新中介值以获得具有第三斜率的第三直线方程式;
定义第四斜率为:-1*所述第三斜率;
取所述第四斜率通过所述新较近值的函数为第四直线方程式;以及
定义所述第三直线方程式与所述第四直线方程式的交点为第三估算特征。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述真实特征所在的位置为:将各所述后续测物旋转细定位角度,且所述细定位角度为:所述第三估算特征所对应的角度-所述当前位置所对应的角度。
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