[发明专利]旋转及定位复数测物的方法

说明书

本揭示提供一种旋转及定位复数测物的方法，包含下列步骤：提供旋转装置及传感器；利用旋转装置使第一测物沿旋转轴进行第一次旋转；利用传感器量测第一测物于第一次旋转中的投影面积的变化曲线，以定义第一估算特征；利用第一估算特征计算粗定位角度以分别旋转复数后续测物进行粗定位；分别旋转复数后续测物进行细定位，以逼近复数后续测物的真实特征所在的位置，藉此提高制程效率。

【技术领域】

本揭示涉及一种定位对象的方法，特别涉及一种旋转及定位复数测物的方法。

【背景技术】

如图1所示，于现有技术中，当欲以旋转方式定位柱体测物的特征(如特定长边、特定短边、或特定边角)以供后续与另一对象进行连接或结合时，乃是透过以下步骤完成所述特征的定位：

P1：将柱体测物的上方或下方固定于旋转装置，且使旋转装置的旋转轴贯穿柱体测物；

P2：利用传感器量测柱体测物旋转一圈时，每旋转1度所具有的投影面积的宽度；

P3：利用量测的投影面积的宽度以获得相对应的特征；以及

P4：利用旋转装置旋转柱体测物至特定特征所对应的角度，以完成特定特征的定位。

然而，由于现有技术中每次皆须将柱体测物旋转一圈(360度)，并量测每旋转单位度数(即：1度)时所对应具有的投影面积的宽度后，才能进行柱体测物的特定特征的定位，一旦待定位的柱体测物数量过于庞大时，其定位时所需的总时数将显著增加，严重影响制程效率。

因此，如何有效缩短定位时间以提高制程效率，乃为此一业界亟待解决的问题。

【发明内容】

本揭示的目的在于提供一种旋转及定位复数测物的方法，其可透过对一旋转装置的优化控制及算法的使用，缩短将复数测物旋转及定位至一真实特征的时间，藉此提高制程效率。

为达上述目的，本发明所揭示的一种旋转及定位复数测物的方法，其中复数测物包含第一测物及复数后续测物，所述方法包含下列步骤：

提供旋转装置及传感器；

利用旋转装置使第一测物沿旋转轴进行第一次旋转；

利用传感器量测第一测物于第一次旋转中投影面积的宽度的变化曲线，以决定第一估算特征；

利用第一估算特征计算粗定位角度以分别旋转复数后续测物进行粗定位；以及

分别旋转复数后续测物进行细定位，以逼近复数后续测物的真实特征所在的位置。

于本发明的旋转及定位复数测物的方法中，粗定位包含下列步骤：

量测各后续测物旋转粗定位角度前的投影面积的宽度以定义初始值；

量测各后续测物旋转粗定位角度的两倍后的投影面积的宽度以定义终止值；

量测各后续测物旋转粗定位角度后的投影面积的宽度以定义中介值；以及

以粗定位角度为单位旋转，直到可以初始值、终止值及中介值界定真实特征所在的区间。

于本发明的旋转及定位复数测物的方法中，当第一估算特征为局部最大值时，取初始值与终止值的较大者为较近值、较小者为较远值，当中介值大于初始值与终止值时，真实特征位于中介值与较近值之间。

于本发明的旋转及定位复数测物的方法中，当第一估算特征为局部最小值时，取初始值与终止值的较小者为较近值、较大者为较远值，当中介值小于初始值与终止值时，真实特征位于中介值与较近值之间。

于本发明的旋转及定位复数测物的方法中，细定位包含下列步骤：

取较远值与中介值以获得具有第一斜率的第一直线方程式；