[发明专利]测量装置及方法、曝光装置及方法、以及器件制造方法

权利要求书

1.一种测量装置，其特征在于，

具有：

照射系统，其相对于设于沿第一方向移动的物体的格子标记照射测量光；

物镜光学元件，其使基于所述测量光的来自所述格子标记的衍射光中的0次光衰减并且使所述0次光以外的光偏转或衍射；以及

受光系统，其接受通过所述物镜光学元件而偏转或衍射的所述0次光以外的光，

所述照射系统一边将所述测量光沿所述第一方向移动，一边向沿所述第一方向移动的所述格子标记照射所述测量光。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件具有使所述衍射光中的0次光衰减的第一区域、和使所述0次光以外的光偏转或衍射的第二区域。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，

所述照射系统经由所述物镜光学元件的所述第一区域将所述测量光向所述格子标记照射。

4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件在所述第一区域的周围具有所述第二区域。

5.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件在与所述格子标记的周期方向平行的方向上，在所述第一区域的一侧设有第一光学元件，在所述第一区域的另一侧设有第二光学元件。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件构成为能够绕所述测量光的光轴旋转。

7.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件具有多个棱镜元件，

所述多个棱镜元件使基于所述测量光的来自所述格子标记的所述衍射光朝向所述受光系统偏转。

8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件具有多个反射镜元件，

所述多个反射镜元件使基于所述测量光的来自所述格子标记的所述衍射光朝向所述受光系统偏转。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述物镜光学元件具有多个透射型衍射光栅，

所述多个透射型衍射光栅使基于所述测量光的来自所述格子标记的所述衍射光朝向所述受光系统衍射。

10.一种曝光装置，其特征在于，

具备：

权利要求1～9中任一项所述的测量装置；

位置控制装置，其基于所述测量装置的输出来控制所述物体的位置；以及

图案形成装置，其将照射能量束向所述物体照射来形成规定的图案。

11.一种曝光装置，其特征在于，

具备权利要求1～9中任一项所述的测量装置,

所述曝光装置一边基于所述测量装置的输出控制所述物体的位置，一边将照射能量束向所述物体照射而在所述物体上形成规定的图案。

12.一种测量方法，其对设于物体的格子标记的位置信息进行测量，所述测量方法的特征在于，

包括如下的步骤：

通过照射系统相对于设于沿第一方向移动的所述物体的所述格子标记照射测量光；

通过与所述物体相对的物镜光学元件使基于所述测量光的来自所述格子标记的衍射光中的0次光衰减并且使所述0次光以外的光偏转或衍射；以及

通过受光系统接受由所述物镜光学元件偏转或衍射的所述0次光以外的光，

所述照射系统一边将所述测量光沿所述第一方向移动，一边向沿所述第一方向移动的所述格子标记照射所述测量光。

13.根据权利要求12所述的测量方法，其特征在于，

所述物镜光学元件具有使所述衍射光中的0次光衰减的第一区域、和使所述0次光以外的光偏转或衍射的第二区域。