[发明专利]长晶炉及晶体生长系统

权利要求书

1.一种晶体生长系统，其特征在于，所述晶体生长系统包括吊装装置以及长晶炉；

所述长晶炉包括炉体(110)、盖体(120)以及驱动组件；

所述炉体(110)具有能够容纳坩埚的腔室，所述炉体(110)的顶部开设有与所述腔室连通的通孔；

所述盖体(120)设置在所述炉体(110)的顶部，所述盖体(120)与所述驱动组件连接，所述驱动组件能够驱动所述盖体(120)在关闭所述通孔的遮挡位置以及让开所述通孔的打开位置之间移动；

其中，所述盖体(120)设置为：所述盖体(120)位于所述打开位置时能够允许所述坩埚竖直地通过所述通孔以使所述坩埚在所述腔室和外界之间移动；

所述吊装装置设置为能够吊起所述坩埚并驱使所述坩埚在所述腔室和外界之间移动；

其中，所述吊装装置包括立杆(210)、吊臂(220)、绳索(230)、吊环(240)以及绳索收放组件(250)，所述立杆(210)沿竖直方向设置，所述吊臂(220)垂直地设置在所述立杆(210)上并能够绕所述立杆(210)转动，所述吊环(240)设置在所述绳索(230)的一端并垂吊在所述吊臂(220)远离所述立杆(210)的一端，所述吊环(240)设置为能够与所述坩埚连接，所述绳索收放组件(250)设置在所述吊臂(220)的另一端，所述绳索收放组件(250)与所述绳索(230)的另一端连接以能够卷绕或释放所述绳索(230)。

2.根据权利要求1所述的晶体生长系统，其特征在于，所述遮挡位置与所述打开位置处于第一平面，所述第一平面与所述炉体(110)的顶面相平行。

3.根据权利要求2所述的晶体生长系统，其特征在于，所述驱动组件包括能够在所述第一平面内摆动的摆杆(131)，所述盖体(120)与所述摆杆(131)连接以能够在所述遮挡位置和所述打开位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的晶体生长系统，其特征在于，所述驱动组件包括能够沿竖直方向移动的升降杆(132)，所述升降杆(132)与所述摆杆(131)连接以带动所述摆杆(131)沿竖直方向靠近或远离所述炉体(110)的顶面。

5.根据权利要求4所述的晶体生长系统，其特征在于，所述通孔的边沿设置有定位钉，所述定位钉竖直设置并且向背离所述腔室的方向延伸；所述盖体(120)上设置有定位孔(121)，所述定位孔(121)设置为能够与所述定位钉配合以将所述盖体(120)限制在所述遮挡位置。

6.根据权利要求4所述的晶体生长系统，其特征在于，所述长晶炉包括沿竖直方向固定设置的导向柱(140)，所述升降杆(132)上开设有与所述导向柱(140)相匹配的导向孔，所述升降杆(132)能够通过所述导向柱(140)与所述导向孔的配合沿所述导向柱(140)的长度方向移动。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的晶体生长系统，其特征在于，所述炉体(110)的底部设有开口以及底盖，所述开口与所述腔室连通，所述底盖设置为能够打开或关闭所述开口以能够允许所述坩埚从所述开口进入所述腔室。

8.根据权利要求1所述的晶体生长系统，其特征在于，所述吊装装置包括沿所述吊臂(220)的长度方向可移动地设置在所述吊臂(220)上的位移组件(260)，所述吊环(240)通过所述绳索(230)垂吊在所述位移组件(260)的下方。