[发明专利]搬运台以及使用该搬运台的喷墨装置

权利要求书

1.一种搬运台，具备：

基台部，其包括第一分割基台、以及沿着第一扫描方向在所述第一分割基台的两侧隔开空间地配置的第二分割基台，所述基台部沿着所述第一扫描方向延伸；

引导件，其具有与所述第一分割基台相同材料的多个引导构件，所述引导构件以沿着所述第一扫描方向延伸的方式配置在所述基台部上；

搬运工作台，其沿着所述引导件移动；

轴承部，其配置在所述引导件与所述搬运工作台之间且将所述搬运工作台支承为沿着所述引导件移动自如；以及

驱动部，其与所述搬运工作台连结且使所述搬运工作台移动，

在将所述引导件的所述第一扫描方向上的所述第一分割基台的铅垂方向的上方的区域设为第一区域，将所述引导件被所述两侧的所述第二分割基台支承且为所述引导件的所述第一扫描方向上的所述第一区域以外的区域分别设为第二区域时，所述搬运工作台从一方的所述第二区域遍及所述第一区域、以及所述第一区域的另一相反一侧的另一方的所述第二区域而行进，所述搬运工作台追随所述引导件的弯曲而变形，

通过构成为与所述搬运工作台的所述第一扫描方向平行的方向上的弯曲刚性小于在与所述搬运工作台的表面平行的面内且与所述搬运工作台的所述第一扫描方向垂直的方向上的弯曲刚性，从而所述搬运工作台追随所述引导件的弯曲而变形。

2.根据权利要求1所述的搬运台，其中，

通过采用所述搬运工作台的所述第二区域内的所述第一扫描方向的变形量大于所述搬运工作台的所述第一区域内的所述第一扫描方向的变形量的结构，从而所述搬运工作台追随所述引导件的弯曲而变形。

3.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

所述第一分割基台、所述第二分割基台及所述引导构件由石材料构成。

4.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

所述基台部还具有第三分割基台，所述第三分割基台配置在所述第一扫描方向上的、所述第一分割基台与所述第二分割基台之间，且刚性低于所述引导件的刚性，

在将所述引导件的所述第一扫描方向上的所述第一分割基台的铅垂方向的上方的区域设为所述第一区域，将所述引导件被所述两侧的所述第二分割基台和所述第三分割基台支承且为所述引导件的所述第一扫描方向上的所述第一区域以外的区域分别设为所述第二区域时，所述搬运工作台从一方的所述第二区域遍及所述第一区域、以及所述第一区域的另一相反一侧的另一方的所述第二区域而行进，并且，通过采用所述搬运工作台的所述第二区域内的所述第一扫描方向的变形量大于所述搬运工作台的所述第一区域内的所述第一扫描方向的变形量的结构，从而所述搬运工作台追随所述引导件的弯曲而变形。

5.根据权利要求4所述的搬运台，其中，

所述第一分割基台与所述第二分割基台由石材料构成，所述第三分割基台由铁系材料构成。

6.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

所述搬运台具有处理部，所述处理部对所述搬运工作台上的处理对象物进行规定的处理，且配置为在该处理部与所述引导件之间具有供所述搬运工作台通过的空间，

所述处理部进行所述规定的处理的处理位置包含在所述第一区域内。

7.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

在将与所述搬运工作台的所述第一扫描方向及所述铅垂方向正交的方向设为第二扫描方向时，所述引导构件在所述第二扫描方向上的坐标互不相同的位置处隔开间隔地配置有至少三个以上。

8.根据权利要求2所述的搬运台，其中，

沿着所述第一扫描方向的所述多个引导构件的端部彼此对置的接缝位于所述第一区域内。