[发明专利]一种化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种化学机械研磨设备，其结构包括底板(1)、立柱(2)、水平检测装置(3)、研磨板(4)、出液管(5)、储液罐(6)、顶板(7)、气缸(8)、压板(9)、转轴(10)，所述底板(1)与设在上方的顶板(7)相平行，所述底板(1)两侧分别通过立柱(2)与顶板(7)相连接，所述气缸(8)垂直连接在顶板(7)底部，所述气缸(8)底部与压板(9)垂直连接，所述研磨板(4)设在压板(9)下方，所述研磨板(4)通过转轴(10)安装在底板(1)上，所述储液罐(6)连接在立柱(2)上，所述储液罐(6)底部设有出液管(5)，所述出液管(5)管口设在研磨板(4)上方，其特征在于：

所述水平检测装置(3)安装在底板(1)上，所述水平检测装置(3)包括高度变化结构(30)、放大结构(31)、报警装置(32)，所述高度变化结构(30)设有2个并分别设在研磨板(4)下方两侧，2个高度变化结构(30)分别通过放大结构(31)与报警装置(32)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述高度变化结构(30)包括弹簧杆(30a)、杆套(30b)、弹簧(30c)，所述杆套(30b)底部与底板(1)垂直连接，所述弹簧杆(30a)底部设在杆套(30b)内并通过弹簧(30c)与杆套(30b)内底部相连接。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述弹簧杆(30a)顶部设有安装槽，该安装槽内设有滚珠(30d)。

4.根据权利要求2所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述杆套(30b)侧面设有与之轴线相平行的条形缺口(30e)。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述放大结构(31)包括第一滑块(31a)、杠杆(31b)、支点轴(31c)、第二滑块(31d)，所述杠杆(31b)安装在通过支点轴(31c)安装杆套(30b)外侧，所述杠杆(31b)的两端分别设有滑槽，所述第一滑块(31a)、第二滑块(31d)分别设在杠杆(31b)两端的滑槽内。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述报警装置(32)包括伸缩导杆(32a)、铁条(32b)、动触片(32c)、支架(32d)、报警主机(32e)、静触片(32f)，所述支架(32d)固定在底板(1)上，所述铁条(32b)通过伸缩导杆(32a)与支架(32d)顶部相连接，所述报警主机(32e)设在铁条(32b)下方，所述报警主机(32e)顶部两侧分别设有动触片(32c)、静触片(32f)，所述动触片(32c)、静触片(32f)设在同一水平线上。

7.根据权利要求5所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述第一滑块(31a)设在缺口(30e)处并与弹簧杆(30a)垂直连接，所述第二滑块(31d)与报警主机(32e)相连接。

8.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备，其特征在于：所述伸缩导杆(32a)设有2个并分别与铁条(32b)垂直连接。