[发明专利]多晶硅生产中尾气处理方法及系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产中尾气处理方法，其特征在于，包括：

将待处理混合气通入第一分离装置，在所述第一分离装置中对所述待处理混合气进行初步喷淋洗涤，得到第一处理混合气及硅粉固渣；

将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置；以及，

将所述第一处理混合气通入急冷塔，在所述急冷塔中喷淋洗涤所述第一处理混合气，得到第一氯硅烷气体及含有杂质的氯硅烷残液；

收集所述第一氯硅烷气体，将其冷凝为第一液相氯硅烷后输送至所述第一分离装置用于对所述待处理混合气进行初步喷淋洗涤；以及，

将所述氯硅烷残液通入第二分离装置，在所述第二分离装置中对所述氯硅烷残液进行固液分离，得到氯硅烷清液和硅粉浑浊液；

将所述氯硅烷清液输送至急冷塔用于喷淋洗涤所述第一处理混合气；以及，

将所述硅粉浑浊液排放至残渣处理装置；

其中，在所述第一分离装置中对所述待处理混合气进行初步喷淋洗涤，得到第一处理混合气及硅粉固渣，具体为：

将所述待处理混合气体通入文丘里急冷罐，在文丘里急冷罐中采用所述第一氯硅烷气体冷凝后得到的第一液相氯硅烷对所述待处理混合气进行一次喷淋，先得到硅粉固渣浑浊液，硅粉固渣浑浊液中的水分随温度汽化，得到第二处理混合气及硅粉固渣；

将所述第二处理混合气通入文丘里分离罐，在所述文丘里分离罐中采用所述第一氯硅烷气体冷凝后得到的第一液相氯硅烷对所述第二处理混合气进行二次喷淋洗涤，先得到硅粉固渣浑浊液，硅粉固渣浑浊液中的水分随温度汽化，得到所述第一处理混合气及硅粉固渣。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置之前，还包括：

将所述硅粉固渣排放至中转罐，在所述中转罐中将所述硅粉固渣闪蒸出第二氯硅烷气体；以及，

将所述第二氯硅烷气体通入过滤器，在所述过滤器中利用高压氢气过滤所述第二氯硅烷气体中的杂质，得到经过过滤的第二氯硅烷气体及氢气混合气；

将经过过滤的第二氯硅烷气体及氢气混合气通入第二冷却器，在第二冷却器中冷却所述第二氯硅烷气体及氢气混合气，得到第二液相氯硅烷及气相氢气；

将所述第二液相氯硅烷通入液封装置回收；以及，

将气相氢气通入补充氢前罐回收。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述硅粉浑浊液排放至残渣处理装置之前，还包括：

将所述硅粉浑浊液排放至中转罐，在所述中转罐中将所述硅粉浑浊液闪蒸出第二氯硅烷气体；以及，

将所述第二氯硅烷气体通入过滤器，在所述过滤器中利用高压氢气过滤所述第二氯硅烷气体中的杂质，得到经过过滤的第二氯硅烷气体及氢气混合气；

将经过过滤的第二氯硅烷气体及氢气混合气通入第二冷却器，在第二冷却器中冷却所述第二氯硅烷气体及氢气混合气，得到第二液相氯硅烷及气相氢气；

将所述第二液相氯硅烷通入液封装置回收；以及，

将气相氢气通入补充氢前罐回收。